SiC båd

Semicorex SiC-både er omhyggeligt fremstillet af højrent SiC-keramik, et materiale, der er berømt for dets uovertrufne termiske stabilitet, exceptionelle mekaniske styrke og urokkelige kemiske inertitet. Disse kvaliteter gør det til det perfekte valg til de strenge betingelser for fremstilling af halvledere.

SiC-både kan prale af uovertruffen mekanisk styrke og holdbarhed på grund af materialets hårdhed og enestående slidstyrke. Dette gør dem i stand til at udholde den krævende natur i højkapacitets halvlederproduktionsmiljøer uden at give efter for gradvist slid. I modsætning til andre materialer bevarer SiC sin strukturelle integritet over tid, hvilket væsentligt reducerer behovet for hyppige udskiftninger og minimerer nedetid i produktionsoperationer – hvilket i sidste ende fører til betydelige omkostningsbesparelser for halvlederproducenter.

SiC's kemiske inerthed størkner yderligere dets egnethed til halvlederprocesser ved at gøre det meget modstandsdygtigt over for kemiske angreb fra reaktive gasser og almindeligt anvendte materialer såsom klor og fluor. Denne robuste modstand sikrer, at SiC-både ikke forurener wafere under forarbejdning, og derved opretholder renheden og kvaliteten af ​​de halvlederenheder, der fremstilles. Til processer, der kræver et endnu højere niveau af kemisk resistens, kan SiC Boats belægges med et ekstra lag SiC, hvilket giver en ekstra barriere mod kemisk angreb og hæver bådens overfladefinish for at mindske risikoen for partikelforurening.

Den høje renhed af SiC-keramik, der bruges i disse både, er kritisk, da halvlederfremstilling kræver materialer med minimale urenheder. Selv spormængder af forurenende stoffer kan forringe wafers elektriske egenskaber og resultere i defekter i slutenheder. SiC-både er konstrueret af ultra-høj renhed SiC-keramik for at sikre, at de ikke indfører urenheder i procesmiljøet, selv under de høje temperaturer og reaktive forhold, der er typiske for halvlederfremstilling. Denne renhed styrker SiC-bådenes pålidelighed til kritiske procestrin.

SiC Boats kompatibilitet med forskelligt halvlederudstyr er altafgørende. SiC's alsidighed gør, at den kan bearbejdes præcist, så den passer til de specifikke dimensioner og konfigurationer, der kræves af forskellige typer halvlederovne og reaktorer, hvilket gør dem velegnede til en bred vifte af applikationer, fra små forsknings- og udviklingsoperationer til store produktionslinjer. Derudover bidrager materialets exceptionelle termiske ledningsevne og varmeafledningsegenskaber til mere effektiv temperaturkontrol under forarbejdning, hvilket yderligere forbedrer ydeevnen og udbyttet af halvlederenheder.