SiC både

SemicorexSiCbåde er præcisionskonstruerede keramiske waferholdere designet specielt til diffusionsprocessen i halvleder- og fotovoltaisk fremstilling. Disse højtydende komponenter spiller en afgørende rolle i at muliggøre produktionen af ​​elektroniske enheder af høj kvalitet ved sikkert at holde siliciumwafers under den termiske diffusion af dopingstoffer. SiC-både er bredt udbredt på grund af deres overlegne materialeegenskaber, herunder høj renhed, fremragende termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for kemisk korrosion, hvilket gør dem uundværlige i høje temperaturer og kemisk krævende miljøer.

Anvendelser i diffusionsprocesser

SiC-både bruges primært i diffusionsprocessen, et kritisk trin i fremstilling af halvledere og solceller. Denne proces involverer indføring af dopingmidler såsom fosfor eller bor i siliciumwafers for at ændre deres elektriske egenskaber. Diffusion kræver præcis termisk styring og et kemisk stabilt miljø for at sikre ensartet doteringsmiddelfordeling og ensartet waferkvalitet. Højtemperaturegenskaberne og holdbarheden af ​​SiC-både gør dem ideelle til denne applikation, især i avancerede solcelleteknologier såsom N-type TOPCon (Tunnel Oxide Passivated Contact) og andre næste generations fotovoltaiske celler.

Nøglefunktioner ved SiC-både

Høj renhed:

SiC både er fremstillet med siliciumcarbid keramik med op til 86,5% renhed. Dette sikrer minimal kontaminering af wafere under diffusionsprocessen, og opretholder de høje standarder, der kræves for materialer af halvlederkvalitet.

Termisk stabilitet:

Siliciumcarbid's exceptionelle termiske ledningsevne og modstandsdygtighed over for termisk stød gør bådene i stand til at modstå hurtige temperaturændringer og opretholde strukturel integritet ved temperaturer over 1.000°C. Denne stabilitet sikrer pålidelig ydeevne på tværs af flere diffusionscyklusser.

Kemisk modstand:

SiC-både udviser fremragende modstandsdygtighed over for kemisk korrosion, selv når de udsættes for reaktive dopinggasser såsom fosfin og bortrichlorid. Denne egenskab sikrer langtidsholdbarhed og reducerer risikoen for kontaminering.

Præcisionsteknik:

Designet af SiC-både lægger vægt på høj præcision for at kunne rumme wafers med forskellige diametre sikkert. Avancerede fremstillingsteknikker sikrer ensartethed og kompatibilitet med automatiserede håndteringssystemer, hvilket forbedrer driftseffektiviteten i produktionslinjer med høj kapacitet.

Holdbarhed og lang levetid:

SiC-både har enestående slidstyrke, hvilket forlænger deres levetid betydeligt sammenlignet med andre materialer. Denne holdbarhed oversættes til omkostningsbesparelser for producenter ved at reducere hyppigheden af ​​udskiftninger.

Tilpasningsmuligheder:

For at opfylde de forskellige krav fra halvleder- og solcelleproducenter kan SiC-både tilpasses med hensyn til dimensioner, waferkapacitet og designspecifikationer. Denne fleksibilitet sikrer kompatibilitet med specifikke diffusionssystemer og processer.

Fordele ved SiC-både i diffusionsprocesser

SiC-både tilbyder klare fordele i forhold til traditionelle materialer som kvarts eller grafit:

Reduceret forureningsrisiko:

Den høje renhed afsiliciumcarbidminimerer frigivelsen af ​​urenheder, der kan kompromittere waferkvaliteten under diffusionsprocessen.

Forbedret proceseffektivitet:

SiC's termiske ledningsevne sikrer ensartet varmefordeling på tværs af alle wafere, hvilket forbedrer dopingmiddeldiffusionskonsistensen og reducerer defekter.

Forbedret sikkerhed og pålidelighed:

SiCs mekaniske styrke og modstandsdygtighed over for deformation under høje temperaturforhold bidrager til sikrere drift og mere pålidelige resultater i krævende diffusionsmiljøer.

Bæredygtighed:

SiC-bådenes lange levetid reducerer spild og understøtter miljømæssigt bæredygtig fremstillingspraksis.

Applications Beyond Diffusion

Mens diffusionsprocesser repræsenterer den primære anvendelse af SiC-både, gør deres robuste egenskaber dem velegnede til andre højtemperatur- og kemisk aggressive processer, herunder:

• Oxidation og udglødning i halvlederfremstilling.
• Kemisk dampaflejring (CVD) processer til tyndfilmvækst.
• Højtemperaturprocesser i avanceret fotovoltaisk celleproduktion.

SiC-både er væsentlige komponenter i diffusionsprocessen, hvilket muliggør præcis og pålidelig produktion af halvleder- og fotovoltaiske enheder. Med deres uovertrufne materialeegenskaber, holdbarhed og tilpasningsmuligheder sætter disse siliciumcarbid keramiske waferholdere en ny standard for ydeevne i høje temperaturer og kemisk krævende applikationer. Semicorex’ SiC-både er designet til at imødekomme de skiftende behov i industrien, og giver producenterne de værktøjer, de har brug for for at være foran på et stadig mere konkurrencepræget marked.