Sic cantilever padles

Semicorex Sic Cantilever Paddles er højtydende komponenter, der er designet nøjagtigt til waferhåndtering og wafertransport i halvleder termisk behandlingsudstyr (LPCVD, PECVD, oxidation og diffusionsovne). Disse cantilever-padler giver en platform for skiver og en nødvendig form for støtte, der sikrer stabil og pålidelig transport af sprøde skiver gennem barske høje temperaturprocesser (ofte over 1200 ° C). Cantilever-padlerne er fremstillet af siliciumcarbid (SIC) med høj renhed (SIC), der tilvejebringer mekanisk holdbarhed, termisk stabilitet og anti-korrosive egenskaber for det halvlederfremstillingsmiljø.

Siliciumcarbid er et superpremium keramisk materiale med fremragende termisk ledningsevne, lav termisk ekspansion og evnen til at udføre pålideligt i kemisk fjendtlige miljøer. Siliciumcarbid i cantilever -padler kan hjælpe med at reducere termisk skæv

 og bevægelse, der holder skiver fladt og i deres nominelle behandlingsposition. Termisk stabilitet af skiven i sammenhæng med cantilever -padler er vigtig for at minimere spørgsmål om partikelforurening og mekanisk bevægelse, især når man producerer avancerede knudeenheder. Disse problemer kan resultere i udbyttetab eller dyre omarbejdning og udskiftning af skiver.

Den monolitiske form af sic cantilever -padler forbedrer mekanisk robusthed og termisk ensartethed, mens de eliminerer led og svage punkter, som typisk kan eksistere i kompositter. Endvidere kontrolleres padlernes overfladefinish specifikt og generelt poleres til en næsten spejlkvalitet for at minimere partikelformig generation og er meget renrumsklasse-kompatibel.

I diffusions- og oxidationsprocesser, der involverer ilt, damp og andre reaktive gasser; Konventionelle materialer kan nedbryde eller deformere over tid. SICs iboende kemiske inerte egenskab sikrer, at padlerne ikke overgår, eller korroderer og indfører forurening til processen på grund af brugen af ustabile materialer, hvilket bidrager til en mere stabil proces og pålidelige resultater.  Den strukturelle integritet af sic cantilever -padler forbliver stabil på trods af hurtig cykling af opvarmning og afkøling. Derfor tilbyder de lang operationel levetid med stærkt reduceret vedligeholdelse eller del af delvis erstatning.

Derudover muliggør den reducerede masse og lette vægt af SIC -padler en hurtigere termisk respons; Dermed muliggør hurtigere termisk ramp-up og afkølingstider, der bidrager til øget produktivitet og energieffektivitet, alle større målinger i det konkurrenceprægede landskab inden for fremstilling af halvleder.

Sic cantilever -padler kan leveres i forskellige konfigurationer og størrelser, designet og fremstillet til at rumme forskellige ovndesign og skivestørrelser, der spænder fra 100 mm til 300 mm og større. OEM'er og udstyrsintegratorer sætter pris på konsistensen og pålideligheden af SIC-padler over tid for implementeringer i både front- og back-end-processer.

Semicorex tilbyder premium sic cantilever padler med tæt kontrol af materiel renhed, mikrostruktur og dimensionelle tolerancer. Vores avancerede procesfunktioner kombineret med vores viden om halvleder termisk dynamik giver os mulighed for at producere padler med disse attributter, der opfylder eller overskrider industristandarder for stabilitet, renlighed og holdbarhed. Når det skal være rigtigt og pålideligt, er Semicorex stedet at gå efter SIC -komponenter af høj kvalitet.