Sic keramiske både

Semicorex sic keramiske både er avancerede luftfartsselskaber, der er specielt designet til sikkert at transportere, opbevare og behandle halvlederskiver i de mest krævende kemisk og termisk ekstreme miljøer. Halvlederindustrien har hurtigt vedtaget nye præstationsstandarder, der har krævet SIC-keramiske både til pålideligt, tillid og

Stærk termisk stabilitet og styrke

Den definerende attribut af SIC -keramiske både er dens meget høje termiske stabilitet. SIC -keramiske både kan udholde temperatur på over 1600 ° C uden at miste deres form eller struktur under aggressive termiske cykelprocesser. På grund af den ultra-lave termiske ekspansionskoefficient er SIC-keramiske både mindre tilbøjelige til forvrængning og revner, hvilket muliggør stramme tolerancer og den samlede skivesikkerhed under håndtering under stive forhold.

Høj renhed og kemisk modstand

SIC-keramiske både er fremstillet af ultrahøj renhed siliciumcarbid. SIC -keramiske både er også meget modstandsdygtige over for kemisk nedbrydning, ætsende og eroderet plasma. Den inerte karakter af SIC -keramiske både betyder processer med ætsende gasser, reaktive miljøer, sure forhold ville ikke danne nogen forurening fra båden eller intet opløseligt for at skade arbejdsprocessen. Den ikke-opkæmpende overflade af SIC-keramiske både muliggør ingen partikelgenerering eller ionudvaskning, således at en skivflade ikke bringer i fare af urenheder, der hindrer enhedens ydeevne eller udbytte.

Præcision Engineering for sikker og sikker waferhåndtering

SIC -keramiske både er fremstillet inden for stramme tolerancer, hvilket giver dem mulighed for at håndtere skiver af forskellige diametre, herunder 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm og mere. Den strukturelle design af SIC -både giver fremragende fladhed, parallelisme og ensartet slotstørrelse for at opretholde den rette skivlappende orientering og beskytte kanterne på skiven, når den overføres til en anden proces eller værktøj. Alle SIC -både kan designes med brugerdefinerede dimensioner, der matcher værktøjssættet eller opfylder eventuelle automatiseringsspecifikationer.

Lang levetid og mere omkostningseffektiv

SIC erstatter traditionelle materialer (kvarts, aluminiumoxid) med signifikant forbedret mekanisk styrke, brudhøsthed og termisk stødmodstand. Dette niveau af holdbarhed betyder en længere levetid før "fiasko" markant færre udskiftninger under drift og lavere samlede ejerskabsomkostninger. Konsistensen i ydeevne fra SIC's holdbarhed vil reducere nedtider og fremskynde gennemstrømning på halvlederfremstillingslinjer.

Åbne applikationer i halvlederprocesser

SIC-keramiske både er vidt brugt i front-end halvlederprocesser såsom:

LPCVD og PECVD -afsætning

Termisk oxidation

Ionimplantation

Udglødning og diffusion

Wafer -rengøring og kemisk behandling

SIC -keramiske håndtag har kompatible behandlingsapplikationer i både atmosfære og vakuumproceskamre, hvilket gør det til et ideelt valg for støberier og FAB'er, der ønsker at minimere og reducere risikoen for forurening, samtidig med at produktiviteten forbedres.