SIC keramiske cantilever padler

SemicorexSIC keramiske cantilever padlerer afgørende komponenter til at flytte waferbærere ind og ud af ovne. De er meget udbredt i termisk behandlingsudstyr såsom oxidation, diffusion og LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) ovne i solcelle- og halvlederfremstilling.

cantilever-padler får deres høje bæreevne fra den iboende mekaniske styrke og stivhed af højkvalitets reaktionsbundet siliciumcarbid (RBSiC) materiale. Disse padler, der er i stand til at holde den tunge belastning af siliciumwafers, optimerer gennemløbet til individuelle diffusionscyklusser og hjælper med at forbedre produktionseffektiviteten.

SemicorexSIC keramikcantilever-padler får deres høje bæreevne fra den iboende mekaniske styrke og stivhed af højkvalitets reaktionsbundet siliciumcarbid (RBSiC) materiale. Disse padler, der er i stand til at holde den tunge belastning af siliciumwafers, optimerer gennemløbet til individuelle diffusionscyklusser og hjælper med at forbedre produktionseffektiviteten.

De overlegne materialeegenskaber af reaktionsbundet siliciumcarbid gør det muligt for SIC keramiske cantilever-paddles at have fremragende stabilitet i højtemperaturdriftsmiljøer, hvilket sikrer koncentriciteten af ​​siliciumwaferen og ovnrøret, hvilket gør processer som diffusion og passivering mere ensartede. Denne stabilitet undgår effektivt deformation eller beskadigelse af siliciumcarbid-udkrageren forårsaget af høj temperatur og tung belastning, hvilket reducerer risikoen for resulterende beskadigelse af siliciumwafer eller udstyrsfejl.

Semicorex SiC keramiske cantilever-paddles anvender 3D-printprocessen i ét stykke, som er medvirkende til at opretholde komponenternes dimensionelle nøjagtighed og formkonsistens. Dette design af SiC keramiske cantilever-padler sikrer også sømløs kompatibilitet med diffusionsovnsystemer. Deres robuste cantilever-struktur muliggør jævne, vibrationsfrie overførsler, hvilket minimerer risikoen for wafer, der går i stykker eller afviger ved på- og aflæsning.

cantilever-padler får deres høje bæreevne fra den iboende mekaniske styrke og stivhed af højkvalitets reaktionsbundet siliciumcarbid (RBSiC) materiale. Disse padler, der er i stand til at holde den tunge belastning af siliciumwafers, optimerer gennemløbet til individuelle diffusionscyklusser og hjælper med at forbedre produktionseffektiviteten.