SiC Keramisk Robotarm

SiC keramikrobotarmbruges på tværs af flere halvlederwafer-fremstillingsprocesser og spiller en vigtig rolle i at sikre kvaliteten og effektiviteten af ​​wafer-fremstilling. Det er almindeligvis installeret i og uden for kamrene i forskelligt halvlederfront-end udstyr, såsom ætsemaskiner, aflejringsudstyr, litografimaskiner, rengøringsudstyr, og deltager direkte i håndtering og placering af halvlederwafere. 

Halvlederwafere forurenes let af partikler, så deres relaterede fremstillingsprocesser udføres hovedsageligt i rent og vakuum halvlederudstyr. I den faktiske drift, som den væsentlige komponent i sådant udstyr, kommer SiC keramisk robotarm i direkte kontakt med halvlederskiverne og skal også opfylde ultrahøje renhedskrav. Semicorex’ SiC keramiske robotarm er lavet af højtydende siliciumcarbidkeramik efterfulgt af præcisionsoverfladebehandling og rengøringsbehandling, som præcist kan opfylde de strenge krav fra halvlederfremstilling til renhed og overfladeplanhed. Dette bidrager væsentligt til at reducere waferdefekter og forbedre waferproduktionsudbyttet.

SiC keramikrobotarm er den optimale mulighed for varmebehandlingsprocedurer som annealing, oxidation og diffusion. På grund af siliciumcarbidmaterialers enestående termiske stabilitet og overlegne termiske stødmodstand er SiC keramiske robotarme i stand til at fungere pålideligt i længere perioder under høje temperaturer. Den kan modstå påvirkningen af ​​termisk ekspansion og bevare dens strukturelle integritet under termisk belastning, og derved sikre den ensartede nøjagtighed af waferpositionering.

Takket være dens robuste modstandsdygtighed over for ætsende gasser og væsker, kan SiC keramisk robotarm stabilt opretholde sin ydeevne, selv når den udsættes for aggressive ætsende procesatmosfærer såsom ætsning, tyndfilmaflejring og ionimplantation. Denne korrosionsbestandighed forbedrer effektiviteten af ​​halvlederwafer-fremstilling ved effektivt at sænke risikoen for korrosionsrelaterede komponentskader og reducere behovet for hyppige udskiftninger og vedligeholdelse.