SiC fokusringe

Semicorex avancerede SiC Focus Ringe med høj renhed er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsningskamre (eller tørætsningskamre). Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex leverer SiC Focus Rings er virkelig stabile til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring. SiC Focus Ringe eller kantringe er designet til at forbedre ætsningens ensartethed omkring waferens kant eller omkreds. Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter med høj renhed, der er udviklet til belastningen ved plasmaætsningsbehandling. Vores SiC Focus Ringe med SiC Coating er en tæt, slidstærk siliciumcarbid (SiC) coating. Den har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces.

Parametre for SiC fokusringe

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af SiC Focus Ringe

- CVD siliciumcarbid belægninger for at forbedre levetiden.

- Termisk isolering lavet af højtydende renset stift kulstof.

- Carbon/Carbon komposit varmelegeme og plade. - Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Grafit- og SiC-belægning med høj renhed for pinhole-modstand og længere levetid