SIC vandrette ovnrør

SIC horisontale ovnrører de uundværlige bærere af ovnsystemet, almindeligvis placeret i kerneopvarmningsområdet for halvlederfremstilling eller fotovoltaisk produktionsudstyr. De arbejder sammen med varmeelementerne, temperaturkontrolsystemerne, gaskontrolsystemerne og waferbådene for at danne det komplette ovnsystem.

I selve driften opvarmes SIC horisontale ovnrør af varmeelementerne, som ensartet overfører varmen til ovnrørene ved hjælp af siliciumcarbidmaterialernes fremragende varmeledningsevne. I mellemtiden indføres specifikke procesgasser (såsom oxygen, nitrogen, dopinggasser osv.) i ovnrøret. Under påvirkning af denne højtemperaturgasatmosfære vil halvledermaterialer inde i ovnen gennemgå kemiske reaktioner eller fysiske ændringer, hvilket i sidste ende vil opnå materialemodifikation, doping eller strukturel optimering.

Semicorex' horisontale SIC ovnrør leverer bemærkelsesværdig mekanisk styrke og hårdhed, hvilket spiller en væsentlig rolle i applikationer, der involverer håndtering og forarbejdning af store mængder wafer. SIC horisontale ovnrør er i stand til at give stabil støtte til wafere i varmebehandlingsprocesser såsom oxidation, diffusion og udglødning, hvilket sikrer, at waferne er i den rigtige position under højtemperaturbehandling og undgår forskydning eller deformation forårsaget af termisk stress.

Semicorex' SIC horisontale ovnrør er fremstillet af høj renhedsiliciumcarbid keramikmed ultralavt indhold af urenheder, efterfulgt af aflejring af en CVDsiliciumcarbid belægningpå deres overflade. Denne fremstillingsmetode tilføjer et beskyttende lag til SIC horisontale ovnrør, som gør dem i stand til at fungere stabilt i de krævende høje temperaturer og korrosive miljøer over tid. Denne korrosionsbestandigheds ydeevne af SIC horisontale ovnrør forbedrer effektiviteten af ​​halvlederwafer-fremstilling ved effektivt at sænke risikoen for korrosionsrelateret komponentskade og reducere behovet for hyppige udskiftninger og vedligeholdelse.

Med så mange overlegne egenskaber er Semicorex' horisontale SIC ovnrør i vid udstrækning brugt i mange højtemperaturbehandlingsprocesser i solcelle- og halvlederindustrien, såsom oxidationsproces, diffusionsproces, udglødningsproces og lavtrykskemisk dampaflejring.