Sic oxidationsrør

Semicorex Sic oxidationsrør er konstrueret ud fra siliciumcaramer med høj renhed, der er keramik designet til oxidation, diffusion eller annealingsprocesser, der typisk udføres ved 1600 ° C. Som en del af en SIC -ovn, vandret eller lodret, er dette det kontrollerede miljø, som skiverne opvarmes, mens de oxideres. Funktionen af oxidationsrøret er at tilvejebringe et rent, ensartet og stabilt miljø til den termiske behandling af siliciumcarbid (SIC) -skiver i fremstilling af strømindretninger og bredbåndskaps -halvledere, som blænde af den konstante potentielle oxidationsproces, oxidationsrøret fungerer som en forbrugelig målbar til første brug. Mens kvarts- og aluminiumoxidrør ofte findes nedbrydet over tid gennem udøvelse, vridning eller kemisk nedbrydning, har siliciumcarbid enestående holdbarhed mod termiske chokudfordringer, forbedring af mekanisk egenskab og kemisk inertitet. Disse faktorer giver siliciumcarbid som en fantastisk mulighed for oxidationsrør i høj pålidelighed, miljøer med høj gennemstrømning.

Ved hjælp af avancerede former for dannelse af, såsom kold isostatisk presning og trykløs sintring (eller omkrystallisation), producerer Semicorex SIC-oxidationsrør, der har en tæt, gas-tight og homogen mikrostruktur. Dette giver styrke uden risiko for porøsitet, hvilket gør det muligt for oxidationsprocessen at fortsætte uden forurening. SIC har meget høj termisk ledningsevne, hvilket giver mulighed for ensartet termisk fordeling til waferbelastningszonen og reducerer således termiske gradienter, der kan forårsage skæv skiver eller defekter. Rørets modstand mod syrer, baser og reaktive gasser forhindrer uønskede kemiske interaktioner med skivens overflade og også gennem ovnmiljøet.

Det kryber ikke, det deformeres ikke. Røret behøver ikke at udskiftes efter flere produktionscykler-det er langvarige termiske cykelmiljøer, der ellers ville ødelægge mindre materialer. Derfor betyder ingen højfrekvensafbrydelser lave driftsomkostninger, og dette holder processen strømning uden forstyrrelser. Dette reducerer også kontamineringsrisici, der let kan sænke ydelsen i næste generation af halvlederenheder, hvor sporforureninger spiller en kritisk rolle. Semicorex producerer både standard og fuldt tilpassede rørdimensioner til enhver ovnplatform og opskrift, der bruges. Indvendig og ydre diameter, længde, vægtykkelse og overfladefinish er alle parametre, der kan kræve en justering for at imødekomme forskellige specifikke termiske og mekaniske behov; Fra F & U-ovne for laboratorisk skala til store fremstillingslinjer-i hvert tilfælde, hvor røret har brug for bearbejdning, rengøring og inspektion for at garantere ydeevne.

Kvalitetskontrol begynder med dimensionelle kontroller, materialetæthedstest og validering af termisk cyklus pålidelighed for hvert enkelt SIC -oxidationsrør. Et stærkt materialesporbarhedssystem logger produktet fra dets rå pulverstadium op til den sidste inspektion. Den slags kvalitet giver kunderne en stabil hånd i den langsigtede stabilitet og reproducerbarhed af vores SIC-oxidationsrør.

Vælg Semicorex, og få en partner i en leverandør, der kombinerer avanceret keramisk teknik med bred processtyring og responsiv teknisk support ved at arbejde sammen helt fra starten. Vi lærer om dit specifikke ovnmiljø, procesbehov og integrationsudfordringer, så vi kan tilbyde dig tilpassede løsninger, der forbedrer dine procesresultater såvel som værktøjets oppetid.

Semicorex Sic Oxidation Tube leverer den bedst mulige termiske ydeevne med kemisk stabilitet og mekanisk styrke. Det bliver hjertet i ethvert SIC-behandlingssystem med høj temperatur ved at tilvejebringe et ensartet termisk miljø under oxidation og udglødning af avancerede halvledermaterialer. For producenter, der kræver, at ovnkomponenter er pålidelige, rene og langvarige, Semicorex vil være et produktvalg, der understøttes af viden og erfaring samt en standard for at levere intet mindre end det bedste.