Sic rør

Semicorex Sic -rør er keramiske dele til halvlederovnsystemer.  De har unikke egenskaber, der inkluderer høj termisk transmission og høj -temperatur og kemisk modstand, der kræves i halvledende anvendelser, hvor der er ekstreme høje temperatur og kemiske miljøforhold, der forventes, og hvor egenskaber er ønskelige - holdbarhed, energieffektivitet og unikke stabile procesforhold - som gør det muligt at anvendes økonomiske i de avancerede moremiske fremstillingsmiljøer.

Semicorex Sic-rør bruger en fine-korn med høj renhedSiliciumcarbidDette er fremstillet for at have enestående høj temperatur mekanisk stabilitet som et resultat af avanceret sintring og omkrystallisationsmetoder og teknikker. Aktivering af SIC-højtydende SIC resulterer i enestående mekanisk styrke og tilbageholdelse af termisk stabilitet ved høje driftstemperaturer. SIC har enestående hårdhed, der afbødes, eller potentiel deformation.  Derudover er attributter, der er forbundet med SIC-egenskaber, lavt brændstof koeffektiv for termisk ekspansion er fordelagtige, fordi de begrænser termisk stress, da der vil være krav til at cykle dette materiale mellem ekstrem høj og lav driftsvarme. I alle disse overvejelser har de et specielt værktøj til ideelle applikationer i diffusionsovne, oxidationsovne og LPCVD/PECVD -systemer til at opretholde maksimalt stabile procesbetingelser er til gavn for at eliminere eller begrænse defekter, der også er målinger relateret til wafer eller materiale med stærkt stabile, endda procesforhold.

Et andet vigtigt anvendelighed af SIC -rør er de høje termiske ledningsprofiler under specifikke betingelser og de relevante ovndesign til at producere høje ledningsgrader og afgørende, en jævn og stabil fordeling af temperaturen på tværs af processen.  Denne pålidelige opførsel tillader, at skiver udsættes for semi-lige temperaturfordelinger i rimelige tidsintervaller og derudover at begrænse termiske gradienter for at afbøde fladbundne forvrængede og/eller defekterede skivere, mens der forbedres flere jævnt filmaflejringsbetingelser.

Kemisk stabilitet og modstand er en anden vigtig præstationsfaktor.  I halvlederprocesser udsættes ovnrøret for påvirkningen af ​​stærkt reaktive gasser inklusive ilt, brint, ammoniak og alle halogener, som kan forringe konventionelle materialer på en hurtig måde. Den tætte og ikke-porøse mikrostruktur sammen med kemisk inert karakter af SIC beskytter den mod oxidation og korrosion, mens den leverer operationel og mekanisk ydeevne i det ekstreme procesmiljø.  Holdbarheden af ​​SIC -ovne hjælper dem med at opretholde integriteten af ​​form og dimensionel nøjagtighed over lange perioder, hvilket er vigtigt for processtyring og stabilitet.

SIC -rør kan fremstilles i en lang række størrelser og vægtykkelser, geometrisk formet til at passe til ovndesign og procesbehov.  Præcis præcisionsbearbejdningsegenskaber opretholdes også under design og produktion af SIC -rør, så operationelle tolerancer kan være stramme, med glatte indre overflader og fremragende koncentricitet for at opretholde en balance mellem laminær gasstrøm og ensartede termiske profiler. Overfladepolering og belægninger kan tilvejebringes som behandlingsmuligheder, der vil forbedre ydeevnen ved at reducere partikelgenerering og forbedre korrosionsbestandighed.

SIC -rør har klare operationelle og omkostningsfordele sammenlignet med alternative materialer som kvarts eller aluminiumoxidrør.  De oprindelige omkostninger for SIC -komponenter er muligvis lidt højere, men produktets levetid, reduktion i brud og lavere vedligeholdelseskrav resulterer i de samlede ejerskabsomkostninger, der er lavere omkostninger end alternative materialer og rør.

Afslutningsvis, SemicorexSicRør er den bedste mulighed for halvlederovnsanvendelser, da de giver den bedste termiske ydeevne, mekaniske styrke, kemisk modstand og pålidelighed for krævende produktionsmiljøer. Dette materiale forbedrer processtabiliteten og hjælper med omkostningsbesparelser og effektivitet på vejen (dvs. lavere energiforbrug). Sic -rør er et grundlæggende materiale til moderne halvlederfremstilling.