Semicorex SiC Robot Arm er en højtydende siliciumcarbid keramisk robotarm designet til præcision og holdbarhed i halvlederfremstillingsprocesser. Vælg Semicorex for vores ekspertise i at levere innovative, pålidelige og højkvalitetsløsninger, der er skræddersyet til halvlederindustriens behov.*
Semicorex SiC Robot Arm er en banebrydendesiliciumcarbid keramikrobotarm designet til at opfylde de strenge krav til halvlederfremstilling. Ved at udnytte siliciumcarbidens exceptionelle egenskaber tilbyder denne robotarm enestående ydeevne inden for præcisionshåndtering, højtemperaturstabilitet og kemisk resistens, hvilket gør den til et uundværligt aktiv for avancerede halvlederprocesser.
Fremstillet af høj renhedsiliciumcarbid keramik, SiC Robot Arm kan prale af bemærkelsesværdig mekanisk styrke og fremragende termisk ledningsevne. Dens unikke materialesammensætning sikrer enestående ydeevne under barske forhold, såsom ekstreme temperaturer og udsættelse for ætsende kemikalier, samtidig med at ultra-rene driftsstandarder opretholdes. I modsætning til konventionelle materialer såsom rustfrit stål eller aluminium, giver siliciumcarbid overlegen stivhed, hvilket sikrer minimal deformation selv under mekanisk belastning. Denne egenskab er afgørende for at opretholde den præcision og stabilitet, der kræves i halvlederproduktion.
SiC-robotarmens avancerede termiske stabilitet gør, at den kan fungere pålideligt i miljøer med høje temperaturer. Det modstår termisk udvidelse og bevarer dimensionsintegriteten, hvilket gør det ideelt til termiske processer som udglødning, oxidation og diffusion. Desuden sikrer armens kemiske inertitet, at den kan fungere i plasmaætsning og kemisk dampaflejring (CVD) miljøer, hvor eksponering for aggressive gasser og væsker er rutine. Disse egenskaber bidrager til forlænget levetid og reducerede vedligeholdelsesomkostninger, hvilket betyder højere driftseffektivitet.
I renrumsmiljøer er det vigtigt at opretholde lav partikeldannelse. SiC Robot Arm opfylder dette krav med sin tætte, ikke-reaktive overflade, der minimerer partikeludskillelse. Denne egenskab sikrer renheden af halvlederprocessen og reducerer risikoen for kontaminering, hvilket er afgørende for at opnå høje produktionsudbytter og minimere defekter. Derudover reducerer siliciumcarbidens lette natur belastningen på robotsystemer, hvilket forbedrer energieffektiviteten og systemets overordnede levetid.
Applikationer i halvlederprocesser
SiC Robot Arm er et vigtigt værktøj i forskellige stadier af halvlederfremstilling. Ved waferhåndtering sikrer det sikker og præcis overførsel af siliciumwafers mellem forarbejdningsstationer, hvilket reducerer risikoen for mekanisk skade og forurening. Dens kemiske modstand og termiske stabilitet gør den uundværlig til plasmaætsning og kemiske dampaflejringsprocesser, hvor den bevarer ydeevnen på trods af udsættelse for barske forhold. Under termiske processer såsom udglødning eller oxidation bevarer armen sin strukturelle integritet og præcise drift, hvilket sikrer ensartede og pålidelige resultater. Derudover er dens høje præcision og stabilitet ideel til inspektions- og metrologiapplikationer, hvor nøjagtig positionering er afgørende.
Semicorex sikrer, at hver SiC Robot Arm er omhyggeligt udformet til at opfylde de strenge krav fra halvlederindustrien. Produktet er tilgængeligt i tilpassede konfigurationer, der passer til specifikke proceskrav. Skræddersyede dimensioner, forbedrede overfladefinisher og integrationsmuligheder med eksisterende robotsystemer er blot nogle af de tilbudte tilpasningsfunktioner, hvilket muliggør problemfri anvendelse i forskellige halvlederproduktionslinjer.
At vælge SiC-robotarmen betyder at investere i et produkt, der rummer kvalitet, holdbarhed og præcision. Hos Semicorex er vi stolte af at levere innovative løsninger bakket op af mange års ekspertise inden for fremstilling af halvledermaterialer. Vores forpligtelse til ekspertise sikrer, at vores produkter forbedrer proceseffektivitet, pålidelighed og udbytte i den stadigt udviklende halvlederindustri.
Som konklusion er SiC Robot Arm mere end en komponent; det er en hjørnesten i avanceret halvlederfremstilling. Dens robuste design, overlegne materialeegenskaber og præcisionsydelse gør den til en vigtig tilføjelse til enhver produktionslinje, der sigter mod at opnå fremragende effektivitet og kvalitet.