Semicorex Sic-rør er siliciumcarbidovnrør designet til halvlederhøjtemperaturprocesser med fremragende termisk stabilitet og kemisk korrosionsbestandighed. Valg af Semicorex-råmaterialer med høj renhed, præcisionsproduktionsprocesser og langsigtede pålidelighedsgarantier til at yde solid støtte til din halvlederfremstillingsproces.*
Semicorex Sic -rør (sic ovnrør) er premiumkomponenter, der er stærkt anvendt i halvlederindustrien på grund af deres ideelle termiske stabilitet, mekanisk styrke og ekstrem modstand mod aggressive kemikalier over en række anvendelser. Semicorex Sic-rør er designet til at overleve de mest hårde forhold, der er forbundet med behandling af høj temperatur. SIC -rør er helt klart et foretrukket og overlegent materiale til diffusionsovne, LPCVD/PECVD -systemer og i miljøer, der bruges til epitaksial vækst, hvor materiel kontaminering og termisk forskel er nøgleovervejelser.
Semicorex Sic-rør er fremstillet af ultrahøj renhed SIC-pulvere, der bruger avancerede sintringsmetoder og processtyringsteknikker, der bevarer SIC's renhed. Resultatet er, at SIC -rør har optimal termisk ledningsevne, lave termiske ekspansionsegenskaber og har vægt fordelt langs længden af røret, hvilket effektivt minimerer termisk stress, selv når de udsættes for hurtig termisk cykling. Brug af SIC-rør giver således respektformering med høj attemte under kontinuerlige processer med høj temperatur (op til 1600 ° C)-således at sikre ensartethed i halvlederfremstillingsprocesser, hvilket forbedrer den samlede effektivitet på ensartede skalaer.
Den primære fordel ved SIC er, at den er kemisk inert. SIC er praktisk talt ikke-porøs (overholder ASTM-G654 GP-4-klassificering) og uovertruffen, når det kommer til modstandskorrosive gasser og reaktive kemikalier, der bruges i halvlederudvikling, inklusive HCL, NH₃, sih₄ osv. Det er også bemærket, at kvartsrøret vil nedbryde og deformere ved anvendelse over tid i aggressivt atmospherespunkter, men sicrør bevarer deres integritet i ekstreme i ekstreme miljø og øget servicetid, mens du minimerer gennemstrømningsafstemninger relateret til rørændringer og udskiftninger. De vigtigste fordele ved fremstilling af halvleder er klar; Brug af SIC -rør kan reducere de samlede omkostninger ved ejerskabsgrænseflade efter uger eller endda måneder, mens de opretholder pålideligheden, når det drejer sig om industrielle processer.
Semicorex Sic -rør findes i mange diametre, længder og brugerdefinerede specifikationer for at imødekomme forskellige ovndesign og behandlingskrav. De indre overflader kan poleres, hvilket forbedrer renligheden, reducerer partikelgenerering og er en vigtig detalje i ultra-rene halvlederrum. Brugen af Semicorex Sic -rør kan hjælpe med at reducere kontamineringsrisikoen og bidrager til øgede skiveudbytte med stramme tolerancer og forbedret overfladekvalitet.
Semicorex Sic -ekspertise inkluderer år med siliciumcarbidbehandling med fokus på præcis teknik og kvalitetskontrol for at imødekomme de strenge og krævende kvalitetsstandarder for halvlederindustrien. Vores rør testes og valideres med inspektioner, som er kritiske for at sikre renhed, densitet og udførelse inden for de mest ekstreme termiske miljøer. Semicorex leverer også teknisk support og brugerdefinerede designindstillinger til at hjælpe med at optimere ovnsystemet til specifikke applikationer.
Uanset om fremstilling af logikchips, strømenheder eller optoelektronik, Semicorex Sic -rør præsenterer en pålidelig, holdbar mulighed for behandling af høj temperatur. Ved at vælge Semicorex sikrer du ikke kun effektivitet, men en længere sigt stabil, effektiv proces til fabrikation af halvleder.