Sic lodrette både

Semicorex sic lodrette både er konstruerede wafer -bærere, designet og fremstillet til at tilvejebringe den højeste termiske, mekaniske og kemiske stabilitet for lodret movle -halvlederbehandling. Konstrueret af høj renhedSiliciumcarbid, vi mener, at de er den bedste balance mellem styrke, holdbarhed og renlighed for meget avanceret wafer termisk behandling, bemærket som oxidation, diffusion, LPCVD og annealing i lodrette ovnsystemer.

De lodrette ovnbehandlingsmiljøer kræver et skivestøttesystem, der kan modstå gentagne eksponeringer ved høj temperatur, ofte over 1.200 ° C, og forbliver dimen-sionelt stabile uden kontamineringsproblemer. Sic lodrette både udmærker sig i deres robusthed i disse situationer på grund af de iboende mekaniske og termiske egenskaber ved omkrystalliseret eller CVD -siliciumcarbid. Deres ekstremt lave termiske ekspansionskoefficient sikrer minimal varpage eller forvrængning på grund af hurtig termisk cykling. Derudover tilbyder den høje termiske ledningsevne den største lokale temperaturhomogenitet på tværs af alle skiver, hvilket er kritisk for wafer-to-wafer-konsistens i lagtykkelse, dopingprofiler og elektrisk ydeevne; Vigtige aspekter af fremstilling af højvolumen i halvlederindustrien.

Sammenlignet med traditionelle kvartsbåde leverer SIC lodrette både overlegen mekanisk styrke og udvidet levetid. Kvarts har en tendens til at blive sprød og udtalt over tid, især i aggressive ovnkemier, hvilket fører til højere udskiftningsomkostninger og potentielle produktionsafbrydelser. I modsætning hertil opretholder siliciumcarbid sin integritet, selv efter langvarig eksponering for ætsende gasser, såsom klor, HCI eller ammoniak, som er almindelige i forskellige diffusions- og LPCVD -processer. Dens ekstraordinære slid- og oxidationsmodstand reducerer generering af partikelproduktionen i høj grad, hvilket hjælper med at beskytte skæve overflader mod kontaminering og defektdannelse.

Sic lodrette både tilbyder også en betydelig fordel med hensyn til ultra-ren behandling. SIC-materiale med høj renhed behandles under streng omhu for at reducere identificerbare spormonterende metaller, der kan forstyrre de operationelle egenskaber ved halvlederenheder. Sic lodrette bådoverflader er godt færdige med højrevinklede funktioner, der minimerer risikoen for, at mikropartikler kaster. Sic -overflader er kemisk inerte og reagerer ikke med procesgasser og er derfor mindre tilbøjelige til forurening. I denne henseende er SIC -lodrette både velegnet til frontenden af ​​linjen (FEOL) og bagenden af ​​linjen (BEOL) Wafer -behandlingsoperationer.

Sic lodrette både tilbyder også designfleksibilitet. Hver lodret båd kan være designspecifik til at rumme flere skiverdiametre (150 mm, 200 mm eller 300 mm skiver), og spaltenummer og afstand kan bruges til at imødekomme procestravene. Præcisionsbearbejdning og dimensionel kontrol giver mulighed for korrekt wafer-justering og wafer understøtter minimering af sandsynligheden for mikro-scratches eller stress revner under belastning, behandling og losning. Hvis overlegen temperaturuniformitet og / eller mindre termisk masse er påkrævet til en bestemt proces, kan optimerede geometrier og slotdesign indarbejdes i SIC -lodrette bådkonfigurationer uden at ofre nogen mekaniske egenskaber.

En anden fordel er vedligeholdelse og driftseffektivitet. Den stive konstruktion afSicLodrette både reducerer udskiftningstid og hyppighed og minimerer derved nedetid eller ejerskabsomkostninger. SIC's termiske chokbestandighed muliggør kortere cykler med opvarmning og afkøling for at levere højere gennemstrømning på produktionslinjer. Vedligeholdelse eller rengøring af sic lodrette både er også meget enkel; Materialet kan udholde de fleste konventionelle våde eller renseri-processer, der er almindelige i halvlederfabs, såsom kemisk rengøring med syrer og bake-out med høj temperatur.

I denne moderne tidsalder af sofistikeret halvlederfremstilling, hvor udbytteforbedring, forureningskontrol og stabilitet i processen har al betydning, har SIC -lodrette både en ægte teknologisk fordel. De beskæftiger sig godt med de fysiske og kemiske udfordringer ved lodrette ovnapplikationer og bidrager til den overordnede procesoptimering ved at levere skiveintegritet, konsistente resultater og længere levetid.