SiC Wafer båd

Semicorex leverer waferbåde, piedestaler og brugerdefinerede waferholdere til både lodrette/søjle og horisontale konfigurationer. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores SiC Wafer Boat har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Vi introducerer vores højkvalitets SiC Wafer Boat, designet til at give en pålidelig løsning til waferbehandling i forskellige industrier. Disse keramiske piedestaler er fremstillet ved hjælp af keramik med høj renhed, som tilbyder fremragende modstandsdygtighed over for termisk chok, slid og kemisk korrosion, hvilket gør dem ideelle til barske waferbehandlingsmiljøer.
Vores SiC Wafer Boats er også meget tilpasselige, og vi kan arbejde sammen med dig om at skabe brugerdefinerede piedestaler, der opfylder dine unikke specifikationer. Vi sætter en ære i vores evne til at levere pålidelige produkter af høj kvalitet, der opfylder vores kunders krav. Vores keramiske wafer-både er lavet til at holde og tilbyde en lang levetid, hvilket sikrer, at du får mest muligt ud af din investering.
Bestil nu og oplev fordelene ved vores højkvalitets SiC Wafer Boat i dine waferbehandlingsoperationer.

Parametre for SiC Wafer Boat

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Funktioner af SiC Wafer Boat

- CVD siliciumcarbid belægninger for at forbedre levetiden.
- Termisk isolering lavet af højtydende renset stift kulstof.
- Har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
- Keramik og SiC-belægning med høj renhed for pinhole-modstand og længere levetid