SiC Wafer både

Semicorex SiC Wafer Boat, fremstillet af siliciumcarbid (SiC) keramik, fører an i opfyldelsen af ​​kravene fra halvlederindustrien ved at levere uovertruffen ydeevne i højtemperaturmiljøer. Da halvlederindustrien ubønhørligt skubber grænserne for mikrofabrikation, bliver efterspørgslen efter modstandsdygtige og robuste materialer altafgørende.

SiC Wafer Boat spiller en afgørende rolle i at holde og understøtte flere wafere under termiske processer såsom diffusion, oxidation og kemisk dampaflejring (CVD). Disse processer involverer at udsætte waflerne for ekstremt høje temperaturer, ofte over 1000°C, i en kontrolleret atmosfære. Ensartetheden og konsistensen af ​​disse termiske behandlinger er afgørende for at sikre kvaliteten og ydeevnen af ​​de halvlederenheder, der fremstilles. SiC Wafer Boats evne til at modstå så høje temperaturer uden deformation eller nedbrydning sikrer, at waferne behandles ensartet, hvilket fører til overlegen enhedsudbytte og ydeevne.

SiC-waferbådenes exceptionelle termiske ledningsevne garanterer jævn varmefordeling på tværs af alle wafere, hvilket minimerer risikoen for temperaturgradienter, der kan føre til defekter i halvlederenhederne. Ydermere resulterer SiC's lave termiske udvidelseskoefficient (CTE) i minimal termisk udvidelse og sammentrækning under opvarmnings- og afkølingscyklusser. Denne stabilitet er afgørende for at forhindre mekanisk belastning og potentiel skade på waferne, især med krympende enhedsgeometrier.

Under termiske processer udsættes wafere for forskellige reaktive gasser, der kan interagere med materialerne i SiC waferbåden. SiC's fremragende kemikalieresistens sikrer, at det ikke reagerer med disse gasser, hvilket forhindrer forurening og sikrer wafernes renhed. Dette er især afgørende i produktionen af ​​avancerede halvlederenheder, hvor selv spormængder af forurening kan føre til defekter og reducere enhedens pålidelighed.