SiC Wafer Cassette

Semicorex SiC wafer-kassette, også kendt som en flisebelagt wafer-båd, blev udviklet specifikt til oxidations-, diffusions- og udglødningsoperationer ved temperaturer på over 1200°C. Kassetterne giver betydelig mekanisk støtte, såvel som justering af mange wafere på én gang under højtemperaturovnbrug, og udviser stor mekanisk og dimensionel stabilitet under termisk stress og efterfølgende.  Efterspørgslen efter ultrarene og termisk stabile materialer til waferhåndteringssystemer er stigende, efterhånden som halvlederenheder mindskes i størrelse og øges i ydeevne.

Kassetten er lavet af høj renhedsiliciumcarbid, er der også belægninger, der kan påføres for endnu større fordele. SiC har fremragende termisk stød-, korrosion- og dimensionsdeformationsstabilitet.  SiC har en unik hårdhed, kemisk inerthed og termisk ledningsevne, så det er et ideelt materiale til dette procesmiljø. SiC, i forhold til kvarts- og aluminiumoxid-alternativer, vil ikke formindske dets mekaniske og kemiske egenskaber ved høje forarbejdningstemperaturer, hvilket reducerer risikoen for kontaminering og forbedrer waferprocessens ensartethed under fremstillingsprocesserne.

Den ultrahøje renhed af SiC-waferkassetten udviser modstand mod metalliske eller ioniske kontaminanter, der trænger ind i proceskammeret; noget, der er absolut nødvendigt for høj renhed for at opfylde proceskrav til avancerede halvlederfremstillingsprocesser. Ved at minimere kilder til forurening vil siliciumcarbidkassetter øge waferudbyttet og enhedens pålidelighed.

Semicorex' præcisionsbearbejdningsteknologi gør det muligt at producere hver kassette med snævre tolerancer, ensartet spaltestigning og parallel justering. Præcisionsbearbejdningen af ​​materialerne understøtter jævn i- og aflæsning af wafers, hvilket reducerer risikoen for ridser under håndtering af wafers. Den præcise spalteafstand giver mulighed for ensartet temperatur og luftstrøm på tværs af alle wafere, hvilket fremmer ensartethed i oxidation og diffusion, samtidig med at procesvariabiliteten reduceres.

SiC har fremragende termisk ledningsevne, dimensionsstabilitet og giver pålidelig ydeevne under gentagne termiske cyklusser. Materialet er stabilt og vrider sig eller revner ikke; dens høje stivhed bevarer den strukturelle integritet med høj temperatur over lange perioder, hvilket reducerer den mekaniske belastning på wafere betydeligt, mens den begrænser sandsynligheden for uønskede partikler, der genereres ved håndtering på grund af friktion eller mikrovibrationer.

DesudenSiC's inertitet over for kemikalier beskytter waferne mod reaktion på procesgasserne (f.eks. oxygen, brint, ammoniak), der typisk er involveret under forarbejdningen. Waferkassetterne er stabile i oxiderende og ikke-oxiderende atmosfærer og kan inkorporeres i ovnens arbejdsgang på tværs af en række processer såsom oxidation, diffusion, LPCVD og udglødning.

For at imødekomme specifikke proceskrav tilbyder Semicorex skræddersyede SiC-waferkassetter i forskellige størrelser, antal slots og konfigurationer. Hver enhed gennemgår streng kvalitetsinspektion og overfladebehandling for at sikre glathed, renhed og dimensionsnøjagtighed. Valgfri overfladepolering reducerer yderligere partikeldannelse og forbedrer kompatibiliteten med automatiserede waferhåndteringssystemer.