Siliciumcarbidbåde

Semicorex siliciumcarbidbåde udviser enestående termisk stabilitet, hvilket gør det muligt for dem at modstå de ekstreme temperaturer, der kræves til oxidations- og diffusionsprocesser. Deres fremragende termiske chokresistens minimerer risikoen for revner eller deformation, hvilket sikrer langvarig operationel levetid. SIC-sammensætningen med høj densitet giver overlegen mekanisk styrke, der opretholder strukturel integritet, selv under kontinuerlig termisk cykling. Denne ekstraordinære modstand mod mekanisk stress reducerer sandsynligheden for skiveforurening og brud, hvilket bidrager til højere procesudbytte. Endvidere har SIC -både enestående kemisk modstand, der forbliver inerte til aggressive procesgasser, der bruges i oxidations- og diffusionstrin. Denne karakteristik forhindrer uønskede reaktioner, der kan kompromittere skivens renhed og produktionseffektivitet.

Siliciumcarbidbåde anvendes primært i oxidations- og diffusionsovne, hvor præcis kontrol over skivens eksponering for høje temperaturer og reaktive gasser er afgørende. De understøtter skivere under termisk oxidation for at dyrke siliciumdioxidlag af høj kvalitet og lette ensartet doping gennem kontrolleret eksponering for dopende gasser. Derudover giver de en stabil platform til udglødning og andre høje temperaturbehandlinger, der kræver langvarig varmeeksponering.

Sammenlignet med traditionelle kvarts- og grafitbåde tilbyder siliciumcarbidbåde uovertruffen holdbarhed, levetid og ydeevne. Deres evne til at modstå hårde termiske og kemiske miljøer, mens de minimerer forurening gør dem til det foretrukne valg til produktion af højpræcision. Med fokus på kvalitet og innovation leverer vores siliciumcarbidbåde overlegen ydeevne, hvilket sikrer høje udbytter og effektiv skivebehandling til halvlederproducenter over hele verden. Uanset om det er for avancerede nodeteknologier eller Legacy Semiconductor Fabrication, giver disse både en pålidelig løsning til at imødekomme strenge industrikrav.

(1) Bær og beskyttelse: Siliciumcarbidbådene bærer halvledermaterialer såsom skiver gennem dets indre parentes eller slots og bruger den høje temperatur og korrosionsmodstand af siliciumcarbidmaterialer til at beskytte skiver mod det ydre miljø.

(2) Ensartet opvarmning: Siliciumcarbidbåden tillader, at skiver indeni opvarmes jævnt under varmebehandlingsprocessen. Dette hjælper med at sikre, at temperaturen og reaktionshastigheden for hver del af skiven forbliver konsistent under varmebehandlingsprocessen og derved forbedrer udbyttet og kvaliteten af ​​skiven.

Der er i øjeblikket tre hovedtyper afSiliciumcarbidkeramikMaterialer: Reaktions sintring, sintring af trykløs og omkrystallisation. I de fleste anvendelser er reaktionsintret siliciumcarbid et mere passende og omkostningseffektivt produkt. Omkrystalliserede sic-både sinter og behandler flere enhedsdele først, brug derefter SI-pasta til at kombinere delene i en båd ved høj temperatur og til sidst anvende CVD-SIC-belægning (ca. 100um). Da omkrystallisation er porøs, hvis der ikke er nogen SIC -belægning, vil den også introducere partikaler i halvlederprocessen. Denne type omkrystalliserede SIC-båd med CVD-SIC-belægning har den længste fremstillingsproces og er meget dyr. Sammenlignet med SIC-coatede grafitbåde har CVD-SIC-coated omkrystalliserede SIC-både ikke noget CTE-uoverensstemmelsesproblem.