Siliciumcarbid Cantilever-padler

Semicorexsiliciumcarbid udkragede skovle bruges typisk med vandrette waferbåde i højtemperaturbehandlingsovne. De kan sikre præcis, jævn overførsel af waferbåde ind og ud af ovnrør, hvilket giver en stærk støtte til stabiliteten og udbyttet af halvlederfremstilling. Specielt designet til højtemperatur wafer-behandling, Semicorex siliciumcarbid cantilever-paddles fungerer stabilt ved omkring 1250°C under en barsk arbejdsatmosfære bestående af oxygen (reaktionsgas), nitrogen (beskyttende gas) og en lille mængde hydrogenchlorid.

Materialevalg af høj standard

Premium-produkter er afhængige af fine råvarer. Semicorex anvender siliciumcarbidråmateriale af høj renhed for at sikre, at vores siliciumcarbidudkragede skovle er i topkvalitet på tværs af industrien. Deres baser er lavet af højkvalitets reaktionsbundet siliciumcarbid med urenhedsindhold kontrolleret under 100 ppm, og deres overflader er dækket med en CVD SiC-belægning, hvor urenheder holdes under 1 ppm. Denne højstandard materialefremstilling af Semicorex siliciumcarbid udkragede skovle leverer fremragende egenskaber anført som nedenfor.

1. Ultrahøj renlighed:Semicorexsiliciumcarbidcantilever-padler har høj renhed og frigiver ikke uønskede urenheder under drift, hvilket fundamentalt eliminerer forurening af wafers og procesovne.

2. Stabil termisk stabilitet:Semicorexsiliciumcarbid fribærende skovle fungerer pålideligt ved 1250°C og tåler skarpe temperaturændringer, når de går ind og ud af ovnen, fri for enhver deformation eller revner.

3. Overlegen mekanisk styrke:Semicorexsiliciumcarbid cantilever-pagajer har høj hårdhed og styrke og kan tåle slid og ridser under hyppige skubbe- og trækoperationer.

4. Pålidelig korrosionsbestandighed:Semicorexsiliciumcarbid udkragede skovlekan modstå alvorlig korrosion af stærke alkalier og syrer takket være deres bemærkelsesværdige kemiske stabilitet.

Overvejende design og præcisionsbearbejdning

Semicorexbruger den integrerede 3D-printteknologi til at danne udkragede skovle af siliciumcarbid, som gør dem fri for svage belastningspunkter ved led, hvilket giver pålidelig belastningskapacitet under drift. Det understøtter også fuld-dimensionel tilpasning af siliciumcarbid udkragede skovle. Cantilever-pagajer kan skræddersyes præcist i længde, struktur og grænsefladespecifikationer og er tilgængelige, så de passer perfekt til ovnrørsdiametre, waferbådsdimensioner, automatiserede læssesystemer og specifikke proceskrav.