Siliciumcarbid kassettebåde

Semicorexsiliciumcarbid kassettebådeer de uundværlige bærende komponenter med deres stabile og højstyrke struktur, der sikkert og præcist holder, overfører og håndterer flere halvlederskiver. De bruges i vid udstrækning i de forskellige højtemperatur-halvlederprocesser for at sikre optimeret varme- og gasstrømfordeling for ensartede behandlingsresultater.

Nøje udvalgt råvare

Præcis fremstillet af siliciumcarbidpulver af halvlederkvalitet gennem højtemperatursintring har Semicorex siliciumcarbidkassettebåde følgende fremragende egenskaber.

1. Ultrahøj renhed:Urenhedsindholdet i substratet kontrolleres til at være under 100 PPM, og urenhedsniveauet afCVD siliciumcarbidbelægning kan nå mindre end 1 PPM.

2. Pålidelig korrosionsbestandighed:Siliciumcarbidkeramik leverer stærk korrosionsbestandighed, og det er modstandsdygtigt over for korrosion fra de fleste syrer (såsom saltsyre, svovlsyre og flussyre), alkalier (såsom kaustisk soda), opløsningsmidler og oxiderende medier.

3. Enestående termisk styringskapacitet:Med enestående termisk modstand og en lav termisk udvidelseskoefficient kan siliciumcarbidkassettebåde bevare deres kemiske egenskaber og mekaniske styrke, selv når de udsættes for langvarige driftsforhold ved en høj temperatur omkring 1250 °C.

Præcisionskonstrueret struktur

1. Vandret rammestruktur:Den vandrette rammestruktur af Semicorex siliciumcarbid kassettebåde gør, at de passer perfekt til vandrette højtemperaturovnsrør.

2. Jævnt fordelte spaltehak:Med adskillige jævnt fordelte slidser, kan Semicorex siliciumcarbidkassettebåde fast holde waferen på plads, hvilket markant kan forhindre uønskede ridser, slid og skader som følge af waferforskydning og dermed effektivt sikre halvlederprocesstabilitet og waferudbytte.

3. Multi-slot design:Flere slots designet til at bære flere wafere gør det muligt for Semicorex siliciumcarbid kassettebåde at forbedre deres single-batch behandlingsgennemstrømning og overordnede produktionseffektivitet.

4. Åben arkitektur:Semicorex siliciumcarbid kassettebåde er udstyret med den gennemtænkte åbne arkitektur, som kan hjælpe med at opnå ensartet gasfordeling og tilstrækkelig reaktionskontakt, som derved effektivt minimerer inkonsistente procesresultater.