Siliciumcarbid keramiske cantilever-padler

Semicorexsiliciumcarbid keramiske cantilever padlerfremstilles ved højtemperatursintring af den et-trins 3D-printede grønne krop, efterfulgt af belægningsbehandlingen via kemisk dampaflejring. Under den faktiske drift aktiveres siliciumcarbid keramiske cantilever-paddles af de mekaniske automatiseringssystemer for jævnt og støt at overføre wafer-bærende komponenter ind og ud af højtemperaturbehandlingsudstyr (såsom oxidationsovne, diffusionsovne, CVD-ovne osv.). Disse siliciumcarbidkomponenter kan effektivt sikre koncentricitetsnøjagtigheden mellem skiverne og ovnrørene og garanterer dermed procesensartethed og stabilitet under kritiske processer såsom diffusion, oxidation og kemisk dampaflejring.

Ydeevnen af ​​Semicorex siliciumcarbid keramiske cantilever-padler

1. Lav forureningsydelse:

Semicorexsiliciumcarbidkeramiske cantilever-padler, behandlet med højpræcisionsbehandling, når støvfri og partikelfri standarder. Deres matricer har et urenhedsindhold strengt kontrolleret under 300PPM, og urenhedsindholdet i CVD-siliciumcarbidbelægning er endnu lavere end 5PPM.

2. Høj temperatur stabilitet:

På grund af siliciumcarbids fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og termiske stød, kan Semicorex siliciumcarbid keramiske cantilever-paddles forlænge deres strukturelle stabilitet ved høje temperaturer op til 1250°C, uden at deformeres, blødgøres eller blive beskadiget forårsaget af høj temperatur.

3. Enestående belastningskapacitet:

Semicorex siliciumcarbid keramiske cantilever-padler leverer enestående belastningskapacitet, der drager fordel af deres unikke strukturelle design og deres overlegne materialeegenskaber (høj mekanisk styrke og hårdhed). Denne enestående belastningskapacitet gør dem i stand til at modstå vægten af ​​store partier af wafere for at imødekomme behovene for masseproduktion, hvilket effektivt forbedrer effektiviteten af ​​wafer batchbehandling.

4. Bemærkelsesværdig korrosionsbestandighed:

Semicorex siliciumcarbid keramiske cantilever-padler udviser fremragende korrosionsbestandighed over for oxygen, klor og andre ætsende stoffer, der er til stede ved høje temperaturer i halvleder- og fotovoltaiske fremstillingsprocesser. Denne overlegne ydeevne er afgørende for at sikre en problemfri drift af produktionsprocesser ved at undgå tab og tid forårsaget af beskadigelse af siliciumcarbid keramiske udkragede skovle.

Emballeringsmetoden for Semicorex siliciumcarbid keramiske cantilever-padler