Siliciumcarbid keramikskovle er typisk installeret nær ovnåbningen eller proceskammeret, med den ene ende fast, og den anden ende strækker sig ind i ovnen eller proceskammeret. Under operationsbehandling placerer siliciumcarbid keramiske skovle præcist waferbæreren, der bærer wafere, på det udpegede sted inde i ovnen eller proceskammeret. Efter forarbejdning henter de udkragede padler bæreren og flytter den ud af ovnen eller kammeret og afleverer den til robotarmen til næste trin i håndteringen.

Fordelene ved Semicorex siliciumcarbid keramiske skovle

1. Overlegne egenskaber og pålidelig kvalitet

Semicorex keramiske skovle af siliciumcarbid leverer fremragende højtemperaturstabilitet, høj styrke, høj hårdhed, kemisk stabilitet og lav termisk udvidelseskoefficient. Med disse overlegne egenskaber kan Semicorex keramiske skovle af siliciumcarbid i lang tid modstå de udfordrende driftsforhold, såsom høje temperaturer, alvorlig korrosion, tung belastning og hyppig mekanisk drift.

2. Præcis støtte og transport

Stoler på den fremragende understøttende og transporterende ydeevne, Semicorexkeramiske skovle af siliciumcarbidkan præcist fiksere waferbærere på plads for at sikre koncentriciteten af ​​wafers i forhold til ovnrør, hvilket væsentligt reducerer procesinkonsistensen forårsaget af waferrystning og fejljustering under processen.

3. Meget effektiv automatiseret drift

Semicorex keramiske skovle af siliciumcarbid arbejder typisk sammen med robotiserede automatiserede læsse- og håndteringssystemer for at opnå hurtig ind- og udlæsning af wafers. Dette forkorter procescyklusser i halvleder- og fotovoltaisk fremstilling markant, forbedrer produktionseffektiviteten og reducerer omkostningerne til manuel drift og fejlrisici.

Anvendelser af Semicorex siliciumcarbid keramiske skovle

1. Fremstilling af fotovoltaiske celler

Semicorex siliciumcarbid keramiske skovle er velegnede til de termiske processer af fotovoltaiske celler, såsom diffusion, LPCVD og PECVD af TOPCon og PERC celler. Ved at opnå ensartethed og stabilitet af processen bidrager disse skovle til forbedring af fotovoltaisk cellekonverteringseffektivitet.

2. Fremstilling af halvlederchips

Som de væsentlige støtte- og transportkomponenter anvendes Semicorex keramiske skovle af siliciumcarbid i vid udstrækning i processer som litografi, ætsning og aflejring under fremstilling af halvlederchips, hvilket muliggør konstant stabil overførsel og præcis positionering af wafere.