Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Semicorex leverer waferbåde, piedestaler og brugerdefinerede waferholdere til både lodrette/søjle og horisontale konfigurationer. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores siliciumcarbid keramiske waferbåd har en god prisfordel og dækker det meste af det europæiske og amerikanske marked. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex siliciumcarbid keramisk waferbåd, den ultimative løsning til waferhåndtering og beskyttelse i halvlederfremstilling.
Vores siliciumcarbid keramiske waferbåd er lavet af højkvalitetsmateriale belagt med et lag af siliciumcarbid (SiC) brugt CVD-metode, som har god modstandsdygtighed over for korrosion og fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og termisk stød. Avanceret keramik leverer fremragende termisk modstand og plasmaholdbarhed, mens den afbøder partikler og forurenende stoffer til højkapacitets waferbærere.

Parametre for siliciumcarbid keramisk waferbåd

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af siliciumcarbid keramisk wafer-båd

Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materiale er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.