Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Chuck er en højt specialiseret komponent, der bruges i halvlederfremstilling. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Chuck, eller Silicon Carbide Chuck, er en specialiseret komponent, der primært bruges til halvlederfremstilling og præcisionsbearbejdningsapplikationer. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex litografimaskineskelet er en væsentlig strukturel komponent designet til at understøtte og stabilisere det komplicerede maskineri involveret i fotolitografiprocesser. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Keramiske Wafer Chucks ikke begrænset til en enkelt industri; deres unikke egenskaber gør dem velegnede til en bred vifte af applikationer. I halvledersektoren bruges de til at holde wafers under chipfremstilling. I den kemiske industri gør deres korrosionsbestandighed dem ideelle til håndtering af aggressive stoffer. Miljømæssige applikationer drager fordel af deres stabilitet og modstandsdygtighed over for slid, mens deres mekaniske egenskaber udnyttes i udviklingen af funktionelle materialer. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende aluminiumoxidkeramiske wafer-patroner, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Powder, også kendt som siliciumcarbidpulver, er et fint formalet materiale, der overvejende består af N-type α-fase siliciumcarbid. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex N-type siliciumcarbidpulver (SiC) er et højrent, doteret SiC-materiale specielt designet til avancerede krystalvækstapplikationer. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel