Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC Fine Powder er et højkvalitets, ultrafint pulver kendt for sin exceptionelle renhed og kontrollerede partikelstørrelsesfordeling. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex High-Purity SiC-båden er konstrueret af siliciumcarbid af enestående renhed og demonstrerer overlegen termisk stabilitet, mekanisk robusthed og modstandsdygtighed over for kemikalier. Dette materialevalg er afgørende for at mindske potentiel forurening, beskytte waferne mod skade og udholde de strenge forhold, der opstår i halvlederfremstilling. Semicorex' forpligtelse til at fremstille og levere markedsledende kvalitetsprodukter, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgselFremstillet af en siliciumcarbid af enestående renhed, Semicorex SiC Boat for Wafer Handling kan prale af en konstruktion, der inkluderer præcisionsslidser til at sikre waflerne, hvilket mindsker enhver bevægelse under operationelle procedurer. Valget af siliciumcarbid som materiale sikrer ikke kun hårdhed og modstandsdygtighed, men også evnen til at modstå høje temperaturer og udsættelse for kemikalier. Dette gør SiC Boat for Wafer Handling til en central komponent i en lang række halvlederproduktionsstadier, såsom dyrkning af krystaller, diffusion, ionimplantation og ætsningsprocesser.
Læs mereSend forespørgselSemicorex PBN/PG-varmere (Pyrolytisk Boron Nitride/Pyrolytic Graphite) er konstrueret af avancerede Boron Nitride keramiske materialer, omhyggeligt udformet til at modstå ekstreme temperaturer, der overstiger 1700°C. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex PBN Heater Chucks, fremstillet af Boron Nitride keramik, står i spidsen for banebrydende termiske styringsløsninger. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Pyrolytic Boron Nitride Heaters repræsenterer toppen af ydeevne og pålidelighed inden for højtemperaturapplikationer. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel