Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Sleeve bruges almindeligvis som en slid- og korrosionsbestandig foring til udstyr såsom cylindre, pumper, ventiler, glidelejer og kværntromler.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Isoleringsring bruges som en isolator i forskellige elektriske komponenter, dens fremragende elektriske isoleringsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne i applikationer, hvor det er vigtigt at forhindre elektrisk ledning.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Carbide Liner er et alsidigt og robust materiale, der tjener som et uvurderligt aktiv til at optimere effektiviteten og levetiden af industrielt forarbejdningsudstyr.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Steering Mirror er et bemærkelsesværdigt materiale, der kombinerer holdbarhed, spændstighed og enestående optisk ydeevne, hvilket gør det uundværligt i avancerede optiske systemer på tværs af forskellige højteknologiske industrier.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Black Zirconia Ring er en højtydende komponent, der tilbyder en unik blanding af mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for både termiske og kemiske udfordringer i tætning og isolering til bearbejdning og metallurgiske processer.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Wafer Polishing Carriers anvendelse på tværs af forskellige industrier, fra halvledere til fotovoltaik, spiller en afgørende rolle i slibning og kemisk mekanisk polering (CMP) processer af wafere.
Læs mereSend forespørgsel