Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex aluminiumnitridisoleringsringe er uundværlige komponenter i avanceret halvlederfremstilling, især i højfrekvente varmebehandlingsprocesser. Deres unikke kombination af højtemperaturstabilitet, overlegne tætningsegenskaber, enestående termisk ledningsevne og iboende holdbarhed gør dem afgørende for at sikre præcis proceskontrol, høje enhedsudbytte og forlænget udstyrs levetid i det krævende miljø med halvlederfremstilling. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende aluminiumnitridisoleringsringe, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex aluminiumnitrid elektrostatiske patroner tilbyder en overbevisende kombination af egenskaber, der gør dem ideelle til de krævende krav til behandling af halvlederwafer. Deres evne til at give sikker og ensartet wafer-fastspænding, fremragende termisk styring og modstandsdygtighed over for barske behandlingsmiljøer udmønter sig i forbedret enhedsydelse, højere udbytte og reducerede produktionsomkostninger. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende aluminiumnitrid elektrostatiske patroner, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Wafer Inspection Chucks er kritiske muligheder for avanceret halvlederfremstilling, der imødekommer de stigende krav til præcision, renhed og gennemløb. Deres overlegne materialeegenskaber oversættes til håndgribelige fordele gennem hele waferfremstillingsprocessen, hvilket i sidste ende bidrager til højere udbytte, forbedret enhedsydelse og lavere samlede produktionsomkostninger. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC Wafer Inspection Chucks, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, også kendt som wafer-håndtering keramisk robotarm eller keramisk silicium wafer-håndteringsgaffel, er en højtydende halvlederudstyrskomponent. Dens design tager højde for de strenge krav til fremstilling af halvledere. Med sin høje temperaturbestandighed, slidstyrke, kemiske stabilitet og fremragende elektriske isoleringsegenskaber spiller den keramiske aluminiumoxidarm en uerstattelig rolle i den globale halvlederfremstillingsindustri. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende aluminiumoxid keramisk robotarm, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselDe avancerede materialeegenskaber af Semicorex SiC diffusionsovnrør, herunder høj bøjningsstyrke, fremragende oxidations- og korrosionsbestandighed, høj slidstyrke, lav friktionskoefficient, overlegne højtemperatur mekaniske egenskaber og ultrahøj renhed, gør det uundværligt i halvlederindustrien , især til diffusionsovne. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC diffusionsovnsrør, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselMed højkvalitets materialeegenskaber repræsenterer Semicorex SiC Diffusion Boat optimal funktionalitet på tværs af et bredt spektrum af driftsparametre: hårdhed, elasticitet og termisk og kemisk resistens osv. Dette materialevalg er afgørende for at reducere forureningsrisici, beskytte wafere og udholde krævende forhold til stede i halvlederfremstillingsprocesser. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC Diffusion Boat, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgsel