Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Wafer Chuck er en væsentlig komponent i halvlederepitaksialprocessen. Den fungerer som en vakuumpatron til sikkert at holde wafers under kritiske produktionsstadier. Vi er forpligtet til at levere topkvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og positionere os selv til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Ceramic Chuck er en højt specialiseret komponent designet til brug i halvlederepitaksiale processer, hvor dens rolle som vakuumpatron er afgørende. Med vores forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC ICP-plade er en avanceret halvlederkomponent, der er specielt udviklet til at opfylde de strenge krav fra moderne halvlederfremstillingsprocesser. Dette højtydende produkt er designet med den nyeste siliciumcarbid (SiC) materialeteknologi, der tilbyder uovertruffen holdbarhed, effektivitet og pålidelighed, hvilket gør det til en væsentlig komponent i fremstillingen af banebrydende halvlederenheder. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC ICP Etching Plate er en avanceret og uundværlig komponent i halvlederindustrien, designet til at øge præcisionen og effektiviteten af ætsningsprocesser. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina End Effector er dukket op som et uundværligt værktøj i det krævende område af halvlederfremstilling, hvor selv mikroskopiske ufuldkommenheder kan kompromittere enhedens ydeevne, rollen som præcisionswaferhåndtering kan ikke overvurderes. Alumina End Effector giver en unik kombination af præcision, renhed og holdbarhed, der er afgørende for at manipulere sarte siliciumwafers gennem forskellige fremstillingsprocesser.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Custom SiC Cantilever Paddle er blevet en uundværlig komponent i solcelleindustrien og spiller en afgørende rolle i den effektive og præcise håndtering af siliciumwafers under højtemperaturdiffusionsprocesser. Custom SiC Cantilever Paddle, omhyggeligt konstrueret af højtydende siliciumcarbid (SiC) keramik, tilbyder en unik blanding af egenskaber, der er afgørende for at bevare wafer-integriteten, sikre procesensartethed og maksimere produktiviteten i krævende diffusionsovnsmiljøer.**
Læs mereSend forespørgsel