Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC O-ring er højt værdsat i en række industrier for deres exceptionelle tætningsevne og materialeegenskaber. Dens anvendelse spænder over applikationer, hvor ekstreme forhold såsom høje temperaturer, aggressive kemikalier, mekanisk stress og streng renlighed er rutine.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Electrostatic Chuck E-Chuck er en højt specialiseret komponent, der bruges i halvlederindustrien til sikkert at holde wafers under forskellige fremstillingsprocesser. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Electrostatic Chuck ESC er et højt specialiseret værktøj designet til at øge præcision og effektivitet i halvlederfremstillingsprocesser. Vores E-Chucks har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex ESC Chuck er en kritisk komponent i halvlederindustrien, specielt designet til sikkert at holde wafers under forskellige fremstillingsprocesser. Semicorex leverer produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, vi er klar til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex E-Chuck er en avanceret elektrostatisk chuck (ESC), der er specielt designet til højtydende applikationer i halvlederindustrien. Semicorex er en førende producent af halvledere i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Loader Arms evne til at modstå ekstreme forhold og samtidig opretholde enestående ydeevne understreger dens værdi i optimering af fremstillingsprocesser og opnåelse af højere niveauer af produktivitet og kvalitet.Integrationen af højrent aluminiumoxidkeramisk materiale sikrer overlegen renlighed, præcision og holdbarhed.**
Læs mereSend forespørgsel