Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
De avancerede materialeegenskaber af Semicorex SiC diffusionsovnrør, herunder høj bøjningsstyrke, fremragende oxidations- og korrosionsbestandighed, høj slidstyrke, lav friktionskoefficient, overlegne højtemperatur mekaniske egenskaber og ultrahøj renhed, gør det uundværligt i halvlederindustrien , især til diffusionsovne. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC diffusionsovnsrør, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselMed højkvalitets materialeegenskaber repræsenterer Semicorex SiC Diffusion Boat optimal funktionalitet på tværs af et bredt spektrum af driftsparametre: hårdhed, elasticitet og termisk og kemisk resistens osv. Dette materialevalg er afgørende for at reducere forureningsrisici, beskytte wafere og udholde krævende forhold til stede i halvlederfremstillingsprocesser. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC Diffusion Boat, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex ICP Etching Plate er en avanceret, højtydende komponent specielt designet til halvlederapplikationer, fremstillet af siliciumcarbid (SiC) materiale. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC-reflektor er et centralt element i forskellige halvlederfremstillingsprocesser. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC keramiske varmeoverførselsplader, baseret på SiC som det primære materiale, gennemgår højtemperatursintring ved 2250°C, hvilket resulterer i et stærkt forglasset, tæt keramisk legeme med nulporøsitet med et SiC-indhold på ≥99,3%. Udviser en bøjningsstyrke på ≥410MPa og en termisk ledningsevne på 140W/m.k, er disse keramik de eneste materialer, der er i stand til at modstå korrosion fra stærke syrer såsom flussyre (HF) og svovlsyre (H2SO4) i halvlederindustrien. Vi hos Semicorex er dedikeret til at fremstille og levere højtydende SiC keramiske varmeoverførselsplader, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet. **
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbid keramiske strukturdele, opnået fra korn af siliciumcarbid bundet sammen ved sintring, finder udstrakt anvendelse i bilindustrien, mekaniske, kemiske, halvleder-, rumteknologi-, mikroelektronik- og energisektorer og opfylder kritiske roller i forskellige applikationer på tværs af disse industrier. På grund af deres bemærkelsesværdige egenskaber er siliciumcarbid keramiske strukturdele blevet et ideelt materiale til barske forhold karakteriseret ved høje temperaturer, høje tryk, korrosion og slid, hvilket giver pålidelig ydeevne og lang levetid i udfordrende driftsmiljøer.**
Læs mereSend forespørgsel