Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Electrostatic Chuck ESC er et højt specialiseret værktøj designet til at øge præcision og effektivitet i halvlederfremstillingsprocesser. Vores E-Chucks har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex ESC Chuck er en kritisk komponent i halvlederindustrien, specielt designet til sikkert at holde wafers under forskellige fremstillingsprocesser. Semicorex leverer produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, vi er klar til at blive din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex E-Chuck er en avanceret elektrostatisk chuck (ESC), der er specielt designet til højtydende applikationer i halvlederindustrien. Semicorex er en førende producent af halvledere i Kina.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Loader Arms evne til at modstå ekstreme forhold og samtidig opretholde enestående ydeevne understreger dens værdi i optimering af fremstillingsprocesser og opnåelse af højere niveauer af produktivitet og kvalitet.Integrationen af højrent aluminiumoxidkeramisk materiale sikrer overlegen renlighed, præcision og holdbarhed.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC-forseglingsdel tilbyder en blanding af exceptionel hårdhed, kemisk resistens og termisk stabilitet, hvilket gør den vigtig til krævende industrielle applikationer. SiC-forseglingsdelens avancerede egenskaber sikrer holdbarhed, pålidelighed og effektivitet og forbedrer derved komponenternes ydeevne og levetid.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Boat er avanceret komponent, omhyggeligt designet til halvlederfremstilling, specifikt i diffusions- og termiske processer. Med vores urokkelige forpligtelse til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser, er vi klar til at være din langsigtede partner i Kina.*
Læs mereSend forespørgsel