Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex CCB-bremser (carbon-keramiske bremser med overtrukket friktionslag) repræsenterer den næste generation af bremseopløsninger med høj ydeevne, konstrueret til ekstrem holdbarhed, termisk stabilitet og konsekvent bremsning under de mest krævende forhold. Vælg Semicorex for sin ekspertise inden for avancerede keramiske kompositter og præcisions-konstruerede belægningsteknologier.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex CCM-bremser, fremstillet af avancerede carbon-keramiske matrixmaterialer, er den ideelle løsning til bremsning med høj ydeevne i ekstreme køremiljøer. Vælg Semicorex til vores uovertrufne ekspertise inden for keramisk sammensat teknik, præcisionsproduktion og engagement i at levere ensartet, race-beviset kvalitet.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Ceramic Composite Heaters leverer ultra-rene, højeffektiv opvarmningsydelse til krævende applikationer med høj temperatur. Vælg Semicorex for branchens førende materiel renhed, præcisionsteknik og pålidelig tilpasning støttet af mange års ekspertise inden for avancerede keramiske teknologier.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex PBN-varmeapparat tilbyder ultra-ren, høj-temperatur ydeevne ideel til halvleder, krystalvækst og vakuumapplikationer. Vælg Semicorex for uovertruffen materiel renhed, teknisk præcision og pålidelig levering, der er tillid til af førende globale producenter.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex sic keramiske både giver den optimale kombination af renhed, styrke, termisk resistens og dimensionel nøjagtighed, der kræves til de strenge krav fra moderne halvlederskiverbehandling. *
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Robot-hænder er høj præcision, ultra-rene slut-effektorer designet til sikker og pålidelig skivoverførsel i halvlederfremstilling. Vælg Semicorex til branchens førende ekspertise inden for avanceret keramik, levering af overlegen ydeevne, renhed og tilpasning, der er tillid til af top semiconductor fabs overalt i verden.*
Læs mereSend forespørgsel