Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Flat Membrane er en højtydende keramisk filtreringsopløsning, der er kendt for sin ekstraordinære kemiske modstand, termiske stabilitet og overlegen filtreringseffektivitet. Valg af Semicorex betyder at vælge branche-førende teknologi, der er støttet af avancerede fremstillingsprocesser og en forpligtelse til at levere pålidelige, omkostningseffektive løsninger, der imødekommer de hårdeste filtreringsudfordringer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbidkompositmembran er en avanceret filtreringsopløsning, der kombinerer de overlegne egenskaber ved siliciumcarbid, aluminiumoxid og calciumoxid for at levere filtrering med højtydende på tværs af en lang række industrier. Semicorex er det pålidelige valg til denne avancerede teknologi, der tilbyder uovertruffen kvalitet, pålidelighed og skræddersyede løsninger, der sikrer optimal effektivitet og langsigtet ydeevne til dine filtreringsbehov.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbidmembran er avancerede filtreringsløsninger, der tilbyder overlegen kemiske, termiske og mekaniske modstand, ideel til krævende industrielle anvendelser. Vælg Semicorex til vores holdbare membraner af høj kvalitet, der leverer langvarig ydeevne, effektivitet og pålidelighed, hvilket sikrer optimale resultater i enhver filtreringsproces.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Membrane er en højtydende keramisk filtreringsopløsning lavet af siliciumcarbid med høj renhed, designet til udfordrende industrielle filtreringsapplikationer. Vælg Semicorex for pålidelige, holdbare og effektive SIC-membraner, der leverer enestående ydelse og langsigtet værdi i selv de mest krævende miljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Vacuum Chucks er den perfekte løsning til Wafer -håndtering i halvleder- og præcisionsindustrier. Med en række forskellige basismaterialeindstillinger, keramiske pladestilpasninger og præcis fladhedskontrol, sikrer vores vakuumchucks pålidelig wafer -stabilitet og fremragende procesresultater. Disse chucks er designet til at imødekomme de strenge krav fra moderne halvlederfremstilling og leverer uovertruffen ydeevne, hvilket sikrer, at dine processer forbliver effektive og omkostningseffektive.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous Sic Vacuum Chuck er designet til præcis og pålidelig waferhåndtering, der tilbyder tilpasselige materialemuligheder til at imødekomme en lang række behov for halvlederbehandling. Vælg Semicorex for sit engagement i holdbare løsninger af høj kvalitet, der leverer optimal ydeevne og effektivitet i enhver applikation.*
Læs mereSend forespørgsel