Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Sic Vacuum Chucks er højtydende keramiske armaturer designet til sikker wafer-adsorption i halvlederfremstilling. Med overlegne termiske, mekaniske og kemiske egenskaber sikrer det stabilitet og præcision i krævende procesmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex PBN-kompositvarmere er avancerede opvarmningselementer, der er konstrueret til høj-temperatur, ultra-rene vakuummiljøer, der er vidt brugt i halvleder, optoelektronik og materielle forskningsindustrier. Vælg Semicorex til industrieledende ekspertise, tilpasning af små batch og kvalitet i verdensklasse i PBN-opvarmningsløsninger.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Cantilever Paddles er højtydende siliciumcarbid-cantilever-padler, der bruges i Semiconductor termisk behandlingsudstyr, designet til stabil waferhåndtering i miljøer med høj temperatur. Valg af Semicorex betyder at vælge materialer med høj renhed, fremragende termisk stabilitet og industrieledende præcisionsproduktionsteknologi for at sikre, at enhver kritisk proces af dig er stabil og pålidelig.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic -bådindehavere er vigtige strukturelle komponenter, der sikrer præcis og pålidelig wafer -positionering i Semiconductor termisk behandling. Vælg Semicorex for uovertruffen kvalitet, teknisk ekspertise og en forpligtelse til at fremme SIC-løsninger med høj renhed i fremstilling af halvleder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Boats er præcisions-konstruerede keramiske bærere designet til behandling med høj temperatur i halvlederproduktionen. Vælg Semicorex for dets uovertrufne materielle renhed, avanceret fabrikationsteknologi og engagement i kvalitet, der sikrer en ensartet ydelse i de mest krævende rengøringsmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic-rør er siliciumcarbidovnrør designet til halvlederhøjtemperaturprocesser med fremragende termisk stabilitet og kemisk korrosionsbestandighed. Valg af Semicorex-råmaterialer med høj renhed, præcisionsproduktionsprocesser og langsigtede pålidelighedsgarantier til at yde solid støtte til din halvlederfremstillingsproces.*
Læs mereSend forespørgsel