Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex C/SIC-bremser tilbyder en let, højtydende bremseopløsning med enestående varmemodstand, holdbarhed og konsekvent ydelse, hvilket gør dem ideelle til køretøjer og luftfartsanvendelser.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex sic keramisk membran er en ideel løsning for industrier, der kræver effektiv, holdbar og præcis filtrering. At vælge Semicorex betyder at samarbejde med en betroet ekspert, der er forpligtet til at levere keramisk membranteknologi af høj kvalitet, innovative løsninger og fremragende kundesupport.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic-membraner er højtydende keramiske filtreringsløsninger designet til at imødekomme de mest krævende industrielle anvendelser med enestående holdbarhed, kemisk modstand og termisk stabilitet. Som førende inden for avanceret materialeteknologi fortsætter Semicorex med at skubbe grænserne for innovation og levere SIC-membraner i overlegen kvalitet, der sætter nye industristandarder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex C/C-SIC-bremseskiver giver den perfekte balance mellem styrke, holdbarhed og varmemodstand, hvilket gør dem til det ultimative valg til bremsesystemer med høj ydeevne. Semicorex fører fortsat industrien med sine banebrydende materialer og teknisk ekspertise og leverer overlegne løsninger, der omdefinerer bremseknologi.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex carbon keramisk bremseskive er en bremseskive lavet af en ny type carbon silicium keramisk kompositmateriale. Valg af Semicorex sikrer adgang til internationalt anerkendt kvalitet, avanceret teknologi og skalerbare fremstillingsfunktioner.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous SIC-plade er et avanceret keramisk materiale designet til applikationer med høj præcision, der tilbyder overlegen mekanisk styrke, termisk stabilitet og kemisk resistens. *
Læs mereSend forespørgsel