Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex CVD Sic Edge Ring er en højtydende plasma-vendende komponent designet til at forbedre ætsning af ensartethed og beskytte skivkanter i halvlederfremstilling. Vælg Semicorex for uovertruffen materiel renhed, præcisionsteknik og bevist pålidelighed i avancerede plasmaprocesmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Pbn Crucibles er ultrahøj renhed, kemisk inerte containere ideelle til høje temperatur og vakuumapplikationer. Vælg Semicorex for uovertruffen materialekvalitet, præcisionsteknik og ekspertstøtte, der er betroet af branchens ledere over hele verden.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex carbon keramiske bremser er den ultimative bremseopløsning til applikationer med højtydende. Vælg Semicorex for uovertruffen materialekspertise, præcisionsfremstilling og bevist pålidelighed, der er tillid til af førende OEM'er over hele verden.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex aluminiumnitridvarmere er højtydende keramiske opvarmningselementer, der er kendt for deres ekstraordinære termiske ledningsevne, hurtige respons og elektrisk isolering. Valg af Semicorex betyder at samarbejde med en betroet ekspert i avancerede keramiske teknologier-levering af præcisions-konstruerede løsninger, konsekvent kvalitet og responsivt teknisk support, der er skræddersyet til dine applikationsbehov.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex 4-tommer SIC-både er højtydende wafer-bærere designet til overlegen termisk og kemisk stabilitet i halvlederfremstilling. På betroet af branchens ledere kombinerer Semicorex avanceret materiale ekspertise med præcisionsteknik for at levere produkter, der forbedrer udbyttet, pålideligheden og driftseffektiviteten.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Aln-varmeapparater er avancerede keramiske baserede varmeelementer designet til termiske applikationer med højtydende termiske anvendelser. Disse varmeapparater tilbyder enestående termisk ledningsevne, elektrisk isolering og modstand mod kemisk og mekanisk stress, hvilket gør dem ideelle til krævende industrielle og videnskabelige anvendelser. ALN -varmeapparater giver præcis og ensartet opvarmning, hvilket sikrer effektiv termisk styring i miljøer, der kræver høj pålidelighed og holdbarhed.*
Læs mereSend forespørgsel