Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC ICP-plade er en avanceret halvlederkomponent, der er specielt udviklet til at opfylde de strenge krav fra moderne halvlederfremstillingsprocesser. Dette højtydende produkt er designet med den nyeste siliciumcarbid (SiC) materialeteknologi, der tilbyder uovertruffen holdbarhed, effektivitet og pålidelighed, hvilket gør det til en væsentlig komponent i fremstillingen af banebrydende halvlederenheder. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC ICP Etching Plate er en avanceret og uundværlig komponent i halvlederindustrien, designet til at øge præcisionen og effektiviteten af ætsningsprocesser. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina*.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina End Effector er dukket op som et uundværligt værktøj i det krævende område af halvlederfremstilling, hvor selv mikroskopiske ufuldkommenheder kan kompromittere enhedens ydeevne, rollen som præcisionswaferhåndtering kan ikke overvurderes. Alumina End Effector giver en unik kombination af præcision, renhed og holdbarhed, der er afgørende for at manipulere sarte siliciumwafers gennem forskellige fremstillingsprocesser.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Custom SiC Cantilever Paddle er blevet en uundværlig komponent i solcelleindustrien og spiller en afgørende rolle i den effektive og præcise håndtering af siliciumwafers under højtemperaturdiffusionsprocesser. Custom SiC Cantilever Paddle, omhyggeligt konstrueret af højtydende siliciumcarbid (SiC) keramik, tilbyder en unik blanding af egenskaber, der er afgørende for at bevare wafer-integriteten, sikre procesensartethed og maksimere produktiviteten i krævende diffusionsovnsmiljøer.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC-lejer er med sin enestående hårdhed, styrke og kemiske inerthed dukket op som et hjørnestensmateriale til konstruktionskrævende applikationer på tværs af forskellige industrier. Når SiC er fremstillet i lejer, låser det op for et nyt niveau af ydeevne og pålidelighed, især i miljøer præget af ekstreme temperaturer, ætsende stoffer og strenge krav til renhed. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC-lejer, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbidtætningsring er dukket op som en kritisk muliggørende teknologi inden for halvlederindustrien, der tilbyder uovertruffen ydeevne og pålidelighed i lyset af stadig mere krævende procesforhold. Deres unikke kombination af materialeegenskaber gør den ideel til en bred vifte af applikationer, hvilket sikrer optimal udstyrs oppetid, forlænget komponentlivscyklus og i sidste ende lavere samlede ejeromkostninger. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende siliciumcarbidtætningsring der kombinerer kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgsel