Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Microporous Sic Chuck er et vakuumchuck med høj præcision designet til sikker waferhåndtering i halvlederprocesser. Vælg Semicorex til vores tilpassede løsninger, valg af overlegen materiale og engagement i præcision, hvilket sikrer optimal ydelse i dine behov for skivbehandling.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous Ceramic Chuck (Vacuum Chuck) er et højpræcisionsværktøj designet til sikkert at holde wafere under halvlederfremstillingsprocesser. Ved at vælge Semicorex får du fordel af en løsning, der tilbyder enestående ydeevne, holdbarhed og tilpasningsmuligheder, hvilket sikrer øget produktionseffektivitet og ensartede kvalitetsstandarder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Vacuum Chucks er præcisionskonstruerede komponenter designet til sikkert at holde wafers eller substrater under kritiske halvleder- og præcisionsfremstillingsprocesser. Med Semicorex' forpligtelse til materialer af høj kvalitet og banebrydende fremstillingsteknikker giver vores Alumina-vakuum-chucks uovertruffen pålidelighed, præcision og ydeevne til dine mest krævende applikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Vacuum Chuck er en højtydende komponent designet til sikker og præcis waferhåndtering i halvlederfremstilling. Vælg Semicorex for vores avancerede, holdbare og forureningsbestandige løsninger, der sikrer optimal ydeevne i selv de mest krævende processer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Carbide Sleeve bruges almindeligvis som en slid- og korrosionsbestandig foring til udstyr såsom cylindre, pumper, ventiler, glidelejer og kværntromler.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Alumina Isoleringsring bruges som en isolator i forskellige elektriske komponenter, dens fremragende elektriske isoleringsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne i applikationer, hvor det er vigtigt at forhindre elektrisk ledning.
Læs mereSend forespørgsel