Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC keramiske cantilever-paddles er højtydende komponenter designet til termiske behandlingsovne, der bruges inden for områder som halvleder- og fotovoltaiske cellefremstilling. Semicorex udvælger omhyggeligt siliciumcarbidmaterialer med høj renhed og anvender brancheførende præcisionsfremstillingsprocesser og ser frem til dit køb med vores produkter og tjenester af høj kvalitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex keramiske elektrostatiske patroner er præcisions elektrostatiske adsorptionskomponenter lavet af højtydende aluminiumoxid- og aluminiumnitridkeramik, som bruger princippet om elektrostatisk adsorption til at klemme og fiksere wafers. Det er meget udbredt inden for halvlederfremstilling. Semicorex har avanceret teknologi, materialer af høj kvalitet og omkostningseffektive produkter. Vi ser frem til at blive din pålidelige forsyningspartner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex alumina keramisk manipulator er en højtydende halvlederudstyrskomponent lavet af højrent aluminiumoxid, udviklet specifikt til den præcise håndtering af forureningsfrie wafere. Denne manipulator har karakteristika af exceptionel renlighed, overlegen stabilitet, høj præcision, forbedret effektivitet og pålidelig ydeevne, hvilket gør den til dit ideelle valg.
Læs mereSend forespørgselSemicorex PV-brug SiC-både er højtemperaturbestandige beholdere, der specifikt bruges til at holde og transportere siliciumwafers gennem hele solcelleproduktionsprocessen. Semicorex, dit ideelle valg.
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumnitridplader er keramiske underlag med høj styrke designet til at levere enestående termisk ydeevne og mekanisk pålidelighed for avancerede effektmoduler. Valg af Semicorex betyder at drage fordel af præcisionsproduktion, streng kvalitetskontrol og materialeteknisk ekspertise, der sikrer ensartet ydelse, selv i de mest krævende applikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic lodrette både er højtydende Wafer Carrier konstrueret til brug i lodrette ovnprocesser, hvilket giver enestående stabilitet, renlighed og holdbarhed. Vælg Semicorex for kompromisløs kvalitet, præcisionsfremstilling og bevist pålidelighed i termisk behandling af halvleder.*
Læs mereSend forespørgsel