Siliciumcarbid keramiske waferbåde

Premium materialevalg

De fremragende egenskaber af Semicorex siliciumcarbid keramikwafer bådekan henføres til råvarer af høj kvalitet. Fremstillet af SiSiC-materiale af halvlederkvalitet og dækket med en CVD SiC-belægning, udviser siliciumcarbid keramiske waferbåde følgende fremragende egenskaber.

1.Ultra-høj renhed, fri for metalurenheder

Substraturenhed: ＜100 ppm

CVD SiC-belægningsurenhed: ＜1 ppm

2. Overlegen termisk stabilitet

Siliciumcarbid keramiske waferbåde er i stand til at præstere stabilt under 1250 ℃ høje temperaturforhold, hvilket giver minimal deformation og krybemodstand.

3.Høj mekanisk styrke

Siliciumcarbidbesidder høj hårdhed og slidstyrke, hvilket gør det muligt for Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde at modstå ridser, slid og skader og dermed yder godt under langvarig drift og er modstandsdygtige over for skader.

4.Exceptionel korrosionsbestandighed

Fordi siliciumcarbid er modstandsdygtig over for korrosion fra stærke syrer og baser, kan  Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde bevare sin strukturelle integritet og funktionelle ydeevne selv under stærkt korrosive arbejdsforhold.

Optimeret strukturelt design

Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde er designet til batch waferbehandling, deres optimerede strukturelle ramme sikrer stabil batch wafer-understøttelse og ensartet processtabilitet for hver wafer.

1,3-stolpet lodret støttestruktur

Den lodrette struktur af Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde gør dem i stand til problemfrit at matche vertikale ovnanvendelser. Med denne struktur kan  emicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde lette homogen cirkulation af procesgasser og ensartet fordeling af termisk energi i højtemperaturovnen.

2.Ensartet fordelte slidsklemmer

Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde er udstyret med flere præcisionsbearbejdede slidsklemmer på deres støttestolper. Deres jævnt fordelte spalteklemmer opnår passende spalteafstand, hvilket gør det muligt for siliciumcarbid keramiske waferbåde at fastgøre halvlederwafers og derved bidrage til at forbedre konsistensen af ​​waferens termiske behandlingsresultater.

Med så mange fremragende ydeevne og funktioner er Semicorex siliciumcarbid keramiske waferbåde i vid udstrækning brugt i kerneprocesser af halvlederwafer-fremstilling, såsom oxidation, diffusion, ionimplantation og højtemperaturudglødning.