SiC-belægning er et tyndt lag på susceptoren gennem den kemiske dampaflejringsproces (CVD). Siliciumcarbidmateriale giver en række fordele i forhold til silicium, herunder 10x den elektriske feltstyrke ved nedbrydning, 3x båndgabet, hvilket giver materialet høj temperatur- og kemikalieresistens, fremragende slidstyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex leverer skræddersyet service, hjælper dig med at innovere med komponenter, der holder længere, reducerer cyklustider og forbedrer udbyttet.
SiC-belægning har flere unikke fordele
Højtemperaturmodstand: CVD SiC-belagt susceptor kan modstå høje temperaturer op til 1600°C uden at gennemgå væsentlig termisk nedbrydning.
Kemisk modstand: Siliciumcarbidbelægningen giver fremragende modstandsdygtighed over for en lang række kemikalier, herunder syrer, alkalier og organiske opløsningsmidler.
Slidstyrke: SiC-belægningen giver materialet fremragende slidstyrke, hvilket gør det velegnet til applikationer, der involverer høj slitage.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belægningen giver materialet høj varmeledningsevne, hvilket gør det velegnet til brug i højtemperaturapplikationer, der kræver effektiv varmeoverførsel.
Høj styrke og stivhed: Den siliciumcarbidbelagte susceptor giver materialet høj styrke og stivhed, hvilket gør det velegnet til applikationer, der kræver høj mekanisk styrke.
SiC-belægning bruges i forskellige applikationer
LED-fremstilling: CVD SiC-belagt susceptor bruges til fremstilling af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED, på grund af dens høje termiske ledningsevne og kemiske modstand.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagt susceptor er en afgørende del af HEMT for at fuldføre GaN-on-SiC-epitaksialprocessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor bruges i halvlederindustrien til forskellige applikationer, herunder waferbehandling og epitaksial vækst.
SiC-belagte grafitkomponenter
Fremstillet af Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, påføres belægningen ved en CVD-metode til specifikke kvaliteter af højdensitetsgrafit, så den kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets specielle egenskaber og lave masse tillader hurtige opvarmningshastigheder, ensartet temperaturfordeling og enestående præcision i kontrol.
Materialedata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaber |
Enheder |
Værdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrækkes |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Termisk udvidelse 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusion CVD SiC coated susceptor er et kompositmateriale, der kombinerer egenskaberne af en susceptor og siliciumcarbid. Dette materiale besidder unikke egenskaber, herunder høj temperatur og kemisk modstand, fremragende slidstyrke, høj varmeledningsevne og høj styrke og stivhed. Disse egenskaber gør det til et attraktivt materiale til forskellige højtemperaturapplikationer, herunder halvlederbehandling, kemisk behandling, varmebehandling, solcellefremstilling og LED-fremstilling.
Semicorex's MOCVD Susceptorer indbefatter toppen af håndværk, udholdenhed og pålidelighed til indviklet grafitepitaxi og præcise waferhåndteringsopgaver. Disse susceptorer er kendt for deres høje tæthed, exceptionelle fladhed og overlegne termiske kontrol, hvilket gør dem til det førende valg til krævende produktionsmiljøer. Vi hos Semicorex er dedikeret til at fremstille og levere højtydende MOCVD-susceptorer, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex-pladen til epitaksial vækst står som et kritisk element, der er specielt designet til at imødekomme de indviklede epitaksiale processer. Vores tilbud kan tilpasses til at imødekomme forskellige specifikationer og præferencer og leverer en individuelt skræddersyet løsning, der problemfrit passer til dine unikke operationelle behov. Vi tilbyder en række tilpasningsmuligheder, fra størrelsesændringer til variationer i belægningsapplikationen, hvilket udstyrer os til at konstruere og levere et produkt, der er i stand til at forbedre ydeevnen på tværs af forskellige anvendelsesscenarier. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende plader til epitaksial vækst, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Wafer Carrier til MOCVD, lavet til de præcise behov for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), fremstår som et uundværligt værktøj i behandlingen af enkeltkrystal Si eller SiC til integrerede kredsløb i høj skala. Wafer Carrier til MOCVD-sammensætningen kan prale af uovertruffen renhed, modstandsdygtighed over for forhøjede temperaturer og korrosive miljøer og overlegne forseglingsegenskaber for at opretholde en uberørt atmosfære. Vi hos Semicorex er dedikeret til at fremstille og levere højtydende Wafer Carriers til MOCVD, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.
Læs mereSend forespørgselSiC Boat Holder fra Semicorex er innovativt smedet af SiC, eksplicit skræddersyet til centrale roller inden for solcelle-, elektronisk- og halvledersektoren. Semicorex SiC Boat Holder er konstrueret med præcision og tilbyder et beskyttende, stabilt miljø for wafere gennem alle stadier - hvad enten det er forarbejdning, transit eller opbevaring. Dens omhyggelige design sikrer præcision i dimensioner og jævnhed, afgørende for at minimere wafer-deformation og maksimere operationelt udbytte.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Guide Ring er konstrueret til at optimere enkeltkrystalvækstprocessen. Dens exceptionelle termiske ledningsevne sikrer ensartet varmefordeling, hvilket bidrager til dannelsen af højkvalitetskrystaller med forbedret renhed og strukturel integritet. Semicorex' forpligtelse til markedsledende kvalitet, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Epi-SiC Susceptor, en komponent konstrueret med omhyggelig opmærksomhed på detaljer, er uundværlig til banebrydende halvlederfremstilling, især i epitaksiale applikationer. Epi-SiC Susceptors design, som inkorporerer præcision og innovation, understøtter epitaksial aflejring af halvledermaterialer på wafere, hvilket sikrer enestående effektivitet og pålidelighed i ydeevnen. Semicorex' forpligtelse til markedsledende kvalitet, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgsel