SiC-belægning er et tyndt lag på susceptoren gennem den kemiske dampaflejringsproces (CVD). Siliciumcarbidmateriale giver en række fordele i forhold til silicium, herunder 10x den elektriske feltstyrke ved nedbrydning, 3x båndgabet, hvilket giver materialet høj temperatur- og kemikalieresistens, fremragende slidstyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex leverer skræddersyet service, hjælper dig med at innovere med komponenter, der holder længere, reducerer cyklustider og forbedrer udbyttet.
SiC-belægning har flere unikke fordele
Højtemperaturmodstand: CVD SiC-belagt susceptor kan modstå høje temperaturer op til 1600°C uden at gennemgå væsentlig termisk nedbrydning.
Kemisk modstand: Siliciumcarbidbelægningen giver fremragende modstandsdygtighed over for en lang række kemikalier, herunder syrer, alkalier og organiske opløsningsmidler.
Slidstyrke: SiC-belægningen giver materialet fremragende slidstyrke, hvilket gør det velegnet til applikationer, der involverer høj slitage.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belægningen giver materialet høj varmeledningsevne, hvilket gør det velegnet til brug i højtemperaturapplikationer, der kræver effektiv varmeoverførsel.
Høj styrke og stivhed: Den siliciumcarbidbelagte susceptor giver materialet høj styrke og stivhed, hvilket gør det velegnet til applikationer, der kræver høj mekanisk styrke.
SiC-belægning bruges i forskellige applikationer
LED-fremstilling: CVD SiC-belagt susceptor bruges til fremstilling af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED, på grund af dens høje termiske ledningsevne og kemiske modstand.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagt susceptor er en afgørende del af HEMT for at fuldføre GaN-on-SiC-epitaksialprocessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor bruges i halvlederindustrien til forskellige applikationer, herunder waferbehandling og epitaksial vækst.
SiC-belagte grafitkomponenter
Fremstillet af Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, påføres belægningen ved en CVD-metode til specifikke kvaliteter af højdensitetsgrafit, så den kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets specielle egenskaber og lave masse tillader hurtige opvarmningshastigheder, ensartet temperaturfordeling og enestående præcision i kontrol.
Materialedata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaber |
Enheder |
Værdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrækkes |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Termisk udvidelse 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusion CVD SiC coated susceptor er et kompositmateriale, der kombinerer egenskaberne af en susceptor og siliciumcarbid. Dette materiale besidder unikke egenskaber, herunder høj temperatur og kemisk modstand, fremragende slidstyrke, høj varmeledningsevne og høj styrke og stivhed. Disse egenskaber gør det til et attraktivt materiale til forskellige højtemperaturapplikationer, herunder halvlederbehandling, kemisk behandling, varmebehandling, solcellefremstilling og LED-fremstilling.
Semicorex SiC ICP Etching Disk er ikke kun komponenter; det er en vigtig forudsætning for banebrydende halvlederfremstilling, da halvlederindustrien fortsætter sin utrættelige stræben efter miniaturisering og ydeevne, vil efterspørgslen efter avancerede materialer som SiC kun blive intensiveret. Det sikrer den præcision, pålidelighed og ydeevne, der kræves for at drive vores teknologidrevne verden. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC ICP Etching Disk, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselDer er omfattende egenskaber ved Semicorex SiC Coated Epitaxy Disc, der gør den til en uundværlig komponent i halvlederfremstilling, hvor præcision, holdbarhed og robusthed af udstyr er altafgørende for succesen af højteknologiske halvlederenheder. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC Coated Epitaxy Disc, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Susceptor til ICP Etch er fremstillet med fokus på at opretholde høje standarder for kvalitet og konsistens. De robuste fremstillingsprocesser, der bruges til at skabe disse susceptorer, sikrer, at hver batch opfylder strenge ydelseskriterier, hvilket giver pålidelige og ensartede resultater i halvlederætsning. Derudover er Semicorex udstyret til at tilbyde hurtige leveringsplaner, hvilket er afgørende for at holde trit med halvlederindustriens hurtige omstillingskrav, hvilket sikrer, at produktionstidslinjer overholdes uden at gå på kompromis med kvaliteten. Vi hos Semicorex er dedikerede til at fremstille og levere højtydende SiC Susceptor til ICP Etch, der forener kvalitet med omkostningseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Coated Support Ring er en essentiel komponent, der bruges i den epitaksiale halvledervækstproces. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Coated Ring er en afgørende komponent i halvlederepitaksial vækstproces, designet til at opfylde de krævende krav til moderne halvlederfremstilling. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselPålideligheden og enestående ydeevne af Semicorex SiC Boat for Solar Cell Diffusion stammer fra deres evne til konsekvent at levere under de krævende forhold for solcelleproduktion. SiC's materialeegenskaber af høj kvalitet sikrer, at disse både yder optimalt over en lang række driftsforhold, hvilket bidrager til en stabil og effektiv produktion af solceller. Deres ydeevneegenskaber omfatter fremragende mekanisk styrke, termisk stabilitet og modstandsdygtighed over for miljøbelastninger, hvilket gør SiC Boat for Solar Cell Diffusion til et uundværligt værktøj i solcelleindustrien.
Læs mereSend forespørgsel