SiC-belægning er et tyndt lag på susceptoren gennem den kemiske dampaflejringsproces (CVD). Siliciumcarbidmateriale giver en række fordele i forhold til silicium, herunder 10x den elektriske feltstyrke ved nedbrydning, 3x båndgabet, hvilket giver materialet høj temperatur- og kemikalieresistens, fremragende slidstyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex leverer skræddersyet service, hjælper dig med at innovere med komponenter, der holder længere, reducerer cyklustider og forbedrer udbyttet.
SiC-belægning har flere unikke fordele
Højtemperaturmodstand: CVD SiC-belagt susceptor kan modstå høje temperaturer op til 1600°C uden at gennemgå væsentlig termisk nedbrydning.
Kemisk modstand: Siliciumcarbidbelægningen giver fremragende modstandsdygtighed over for en lang række kemikalier, herunder syrer, alkalier og organiske opløsningsmidler.
Slidstyrke: SiC-belægningen giver materialet fremragende slidstyrke, hvilket gør det velegnet til applikationer, der involverer høj slitage.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belægningen giver materialet høj varmeledningsevne, hvilket gør det velegnet til brug i højtemperaturapplikationer, der kræver effektiv varmeoverførsel.
Høj styrke og stivhed: Den siliciumcarbidbelagte susceptor giver materialet høj styrke og stivhed, hvilket gør det velegnet til applikationer, der kræver høj mekanisk styrke.
SiC-belægning bruges i forskellige applikationer
LED-fremstilling: CVD SiC-belagt susceptor bruges til fremstilling af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED, på grund af dens høje termiske ledningsevne og kemiske modstand.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagt susceptor er en afgørende del af HEMT for at fuldføre GaN-on-SiC-epitaksialprocessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor bruges i halvlederindustrien til forskellige applikationer, herunder waferbehandling og epitaksial vækst.
SiC-belagte grafitkomponenter
Fremstillet af Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, påføres belægningen ved en CVD-metode til specifikke kvaliteter af højdensitetsgrafit, så den kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets specielle egenskaber og lave masse tillader hurtige opvarmningshastigheder, ensartet temperaturfordeling og enestående præcision i kontrol.
Materialedata for Semicorex SiC Coating
Typiske egenskaber |
Enheder |
Værdier |
Struktur |
|
FCC β-fase |
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrækkes |
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Termisk udvidelse 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusion CVD SiC coated susceptor er et kompositmateriale, der kombinerer egenskaberne af en susceptor og siliciumcarbid. Dette materiale besidder unikke egenskaber, herunder høj temperatur og kemisk modstand, fremragende slidstyrke, høj varmeledningsevne og høj styrke og stivhed. Disse egenskaber gør det til et attraktivt materiale til forskellige højtemperaturapplikationer, herunder halvlederbehandling, kemisk behandling, varmebehandling, solcellefremstilling og LED-fremstilling.
Semicorex Susceptor Disc er et uundværligt værktøj i Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), specielt udviklet til at understøtte og opvarme halvlederwafere under den kritiske proces med epitaksial lagaflejring. Susceptor Disc er medvirkende til fremstillingen af halvlederenheder, hvor præcis lagvækst er altafgørende. Semicorex' forpligtelse til markedsledende kvalitet, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgselEpitaksial Single-crystal Si-pladen indkapsler toppen af raffinement, holdbarhed og pålidelighed til applikationer, der vedrører grafitepitaxi og wafer-manipulation. Det er kendetegnet ved dets tæthed, planhed og termiske styringsevner, hvilket placerer det som det optimale valg til strenge driftsforhold. Semicorex' forpligtelse til markedsledende kvalitet, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgselSingle-crystal Silicon Epi Susceptor er en væsentlig komponent designet til Si-GaN epitaksi processer, som kan skræddersyes til individualiserede specifikationer og præferencer, hvilket giver en skræddersyet løsning, der passer perfekt til specifikke krav. Uanset om det indebærer ændringer i dimensioner eller justeringer i belægningstykkelse, besidder vi evnen til at designe og levere et produkt, der imødekommer forskellige procesparametre og derved optimerer ydeevnen til målrettede applikationer. Semicorex' forpligtelse til markedsledende kvalitet, forbundet med konkurrencedygtige skattemæssige overvejelser, cementerer vores iver efter at etablere partnerskaber for at opfylde dine krav til transport af halvlederwafer.
Læs mereSend forespørgselUdformet med præcision og konstrueret til pålidelighed, har SiC Epitaxy Susceptor høj korrosionsbestandighed, høj termisk ledningsevne, modstandsdygtighed over for termisk stød og høj kemisk stabilitet, hvilket gør den i stand til at fungere effektivt i en epitaksial atmosfære. Derfor betragtes SiC Epitaxy Susceptor som en kerne og afgørende komponent i MOCVD-udstyr. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Carbide Boat Holder er et specialiseret produkt fremstillet af SiC-materiale, omhyggeligt designet til applikationer i industrier såsom solcelleanlæg, elektronik og halvledere. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Solar Graphite Boat, en præcisionskonstrueret waferholder designet til at opfylde de krævende krav til højtemperaturhalvlederbehandling. Denne innovative båd er lavet af førsteklasses grafit og tilbyder uovertruffen termisk stabilitet og holdbarhed, hvilket sikrer optimal ydeevne i selv de mest krævende ovnmiljøer. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel