SiC-belægning er et tyndt lag på susceptoren gennem den kemiske dampaflejringsproces (CVD). Siliciumcarbidmateriale giver en række fordele i forhold til silicium, herunder 10x den elektriske feltstyrke ved nedbrydning, 3x båndgabet, hvilket giver materialet høj temperatur- og kemikalieresistens, fremragende slidstyrke samt termisk ledningsevne.
Semicorex leverer skræddersyet service, hjælper dig med at innovere med komponenter, der holder længere, reducerer cyklustider og forbedrer udbyttet.
SiC-belægning har flere unikke fordele
Højtemperaturmodstand: CVD SiC-belagt susceptor kan modstå høje temperaturer op til 1600°C uden at gennemgå væsentlig termisk nedbrydning.
Kemisk modstand: Siliciumcarbidbelægningen giver fremragende modstandsdygtighed over for en lang række kemikalier, herunder syrer, alkalier og organiske opløsningsmidler.
Slidstyrke: SiC-belægningen giver materialet fremragende slidstyrke, hvilket gør det velegnet til applikationer, der involverer høj slitage.
Termisk ledningsevne: CVD SiC-belægningen giver materialet høj varmeledningsevne, hvilket gør det velegnet til brug i højtemperaturapplikationer, der kræver effektiv varmeoverførsel.
Høj styrke og stivhed: Den siliciumcarbidbelagte susceptor giver materialet høj styrke og stivhed, hvilket gør det velegnet til applikationer, der kræver høj mekanisk styrke.
SiC-belægning bruges i forskellige applikationer
LED-fremstilling: CVD SiC-belagt susceptor bruges til fremstilling af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED, på grund af dens høje termiske ledningsevne og kemiske modstand.
Mobil kommunikation: CVD SiC-belagt susceptor er en afgørende del af HEMT for at fuldføre GaN-on-SiC-epitaksialprocessen.
Halvlederbehandling: CVD SiC-belagt susceptor bruges i halvlederindustrien til forskellige applikationer, herunder waferbehandling og epitaksial vækst.
SiC-belagte grafitkomponenter
Fremstillet af Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, påføres belægningen ved en CVD-metode til specifikke kvaliteter af højdensitetsgrafit, så den kan fungere i højtemperaturovnen med over 3000 °C i en inert atmosfære, 2200 °C i vakuum .
Materialets specielle egenskaber og lave masse tillader hurtige opvarmningshastigheder, ensartet temperaturfordeling og enestående præcision i kontrol.
Materialedata for Semicorex SiC Coating
|
Typiske egenskaber |
Enheder |
Værdier |
|
Struktur |
|
FCC β-fase |
|
Orientering |
Brøk (%) |
111 foretrækkes |
|
Bulkdensitet |
g/cm³ |
3.21 |
|
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
|
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
|
Termisk udvidelse 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
|
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
|
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
|
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
|
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Konklusion CVD SiC coated susceptor er et kompositmateriale, der kombinerer egenskaberne af en susceptor og siliciumcarbid. Dette materiale besidder unikke egenskaber, herunder høj temperatur og kemisk modstand, fremragende slidstyrke, høj varmeledningsevne og høj styrke og stivhed. Disse egenskaber gør det til et attraktivt materiale til forskellige højtemperaturapplikationer, herunder halvlederbehandling, kemisk behandling, varmebehandling, solcellefremstilling og LED-fremstilling.
Semicorex ALD Planetary Susceptor er vigtig i ALD-udstyr på grund af deres evne til at modstå barske behandlingsforhold, hvilket sikrer filmaflejring af høj kvalitet til en række forskellige anvendelser. Efterhånden som efterspørgslen efter avancerede halvlederenheder med mindre dimensioner og forbedret ydeevne fortsætter med at vokse, forventes brugen af ALD Planetary Susceptor i ALD at udvide sig yderligere.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Piedestal, en ofte overset, men kritisk vigtig komponent, spiller en afgørende rolle i at opnå præcise og gentagelige resultater i halvlederdiffusion og oxidationsprocesser. Den specialiserede platform, som siliciumbåde hviler på i højtemperaturovne, tilbyder unikke fordele, som direkte bidrager til øget temperaturensartethed, forbedret waferkvalitet og i sidste ende overlegen ydeevne af halvlederenheder.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Annealing Boat, omhyggeligt designet til håndtering og bearbejdning af siliciumwafers, spiller en afgørende rolle for at opnå højtydende halvlederenheder. Dens unikke designegenskaber og materialeegenskaber gør den afgørende for kritiske fremstillingstrin som diffusion og oxidation, hvilket sikrer ensartet behandling, maksimerer udbyttet og bidrager til den overordnede kvalitet og pålidelighed af halvlederenheder.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex MOCVD Epitaxy Susceptor er dukket op som en kritisk komponent i Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) epitaksi, hvilket muliggør fremstilling af højtydende halvlederenheder med enestående effektivitet og præcision. Dens unikke kombination af materialeegenskaber gør den perfekt egnet til de krævende termiske og kemiske miljøer, der opstår under epitaksial vækst af sammensatte halvledere.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex Horizontal SiC Wafer Boat er dukket op som et uundværligt værktøj i produktionen af højtydende halvleder- og fotovoltaiske enheder. Disse specialiserede bærere, omhyggeligt konstrueret af siliciumcarbid med høj renhed (SiC), tilbyder exceptionelle termiske, kemiske og mekaniske egenskaber, der er afgørende for de krævende processer, der er involveret i fremstilling af banebrydende elektroniske komponenter.**
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Multi Pocket Susceptor repræsenterer en kritisk muliggørende teknologi i epitaksial vækst af højkvalitets halvlederwafere. Fremstillet gennem en sofistikeret kemisk dampaflejringsproces (CVD) giver disse susceptorer en robust og højtydende platform til opnåelse af exceptionel epitaksialt lags ensartethed og proceseffektivitet.**
Læs mereSend forespørgsel