Siliciumcarbid wafer båd

Semicorex udvikler keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-semifabrikationsværktøjer og komponenter til waferhåndtering. Vores Silicon Carbide Wafer Boat har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex' siliciumcarbid wafer-båd, der har ekstrem høj renhed (op til 99,99%), fremragende plasmamodstand og varmebestandighed, og begrænset partikelforekomst, bruges i halvlederbearbejdningsudstyrsdele, herunder strukturelle komponenter og værktøjer.
Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv siliciumcarbid waferbåd, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores siliciumcarbid waferbåd.

Parametre for siliciumcarbid waferbåd

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjningsstyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100 (1400°C)
Trykstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Varmeledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af siliciumcarbid wafer båd

Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materiale er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.