Silikone ætseringe

Siliciumætseringe er de væsentlige komponenter i plasmaætsningskammeret i CCP/ICP-ætsningsudstyr og er typisk placeret rundt om halvlederwaferen. Deres primære funktioner er at understøtte halvlederwaferen, opretholde ensartet plasmafordeling, beskytte waferkanten og dermed være med til at skabe optimale driftsbetingelser for plasmaætningsprocessen.

Fordele ved Semicorex silicium ætseringe

1. Premium materialevalg

Semicorex siliciumætseringe er fremstillet af det omhyggeligt udvalgte MCZ med høj renhedmonokrystallinsk silicium, som tilbyder følgende fremragende egenskaber i forhold til konventionelt CZ monokrystallinsk silicium.

Høj renhed: Renheden er over 99,9999999%, hvilket betyder, at Semicorex siliciumætseringe næsten ikke indeholder urenheder. Denne ultra-høje renhed kan effektivt undgå interferens fra komponenturenheder under ætseprocessen og garanterer derved høj ætsningspræcision.

Stabil struktur: MCZ monokrystallinsk silicium har en overlegen krystalstruktur med lavere defekter end konventionelt CZ monokrystallinsk silicium. Denne stabile krystalstruktur giver Semicorex siliciumætseringe forbedret korrosionsbestandighed over for plasmakorrosion og gør dem i stand til at modstå barske ætsningsforhold.

Fremragende resistivitetsensartethed:Semicorex silicium ætseringeleverer exceptionel modstandsensartethed med RRG < 5 %. Lav Res. (<0,02 Ω·cm), Mellem Res. (0,2–25 Ω·cm), høj opløsning. (>100 Ω·cm). Denne fremragende resistivitetsensartethed kan minimere ujævn plasmafordeling forårsaget af for høj eller lav resistivitet, hvilket bidrager til et ideelt elektrisk felt til højpræcision plasmaætsning.

2. Præcisionsbehandling og streng kvalitetskontrol

Semicorex kan prale af et erfarent teknisk team, der kan levere personlig tilpasning og tekniske evalueringer til vores værdsatte kunder og har også etableret systematiske behandlings- og inspektionsprocedurer for at garantere produktkvalitet.

Fleksible tilpasningstjenester: Semicorex understøtter tilpasning baseret på kundetegninger, og den maksimale tilpassede diameter af siliciumætseringe kan være op til 470 mm.

Højstandard overfladebehandling: Poleringspræcision kan kontrolleres strengt inden for Ra < 0,1 µm, og finslibning opnår en overfladefinish på Ra > 0,1 µm.

Streng kvalitetsinspektion: Dimensionsmålingen, resistivitetstestningen og den visuelle inspektion vil blive udført for at sikre, at siliciumætseringene er fri for spåner, ridser, revner, pletter og andre defekter.