Silicium Wafer Carrier

Semicorex leverer keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-halvlederværktøjer og waferhåndteringskomponenter med fokus på siliciumcarbidlag i halvlederindustrier. Vi har været producent og leverandør af Silicon Wafer Carrier i mange år. Vores Silicon Wafer Carrier har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Halvlederaflejringsprocesser bruger en kombination af flygtige forløbergasser, plasma og høj temperatur til at lægge tynde film af høj kvalitet på wafere. Deponeringskamre og værktøjer til håndtering af wafers har brug for holdbare keramiske komponenter for at kunne klare disse udfordrende miljøer.
Semicorex Silicon Wafer Carrier er siliciumcarbid med høj renhed, som har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne.

Parametre for Silicon Wafer Carrier

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af Silicon Wafer Carrier

SiC-belagt grafit med høj renhed
Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materiale er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.

Tilgængelige former for siliciumcarbid keramik:

● Keramisk stang / keramisk stift / keramisk stempel

● Keramisk rør / keramisk bøsning / keramisk muffe

● Keramisk ring / keramisk skive / keramisk afstandsstykke

● Keramisk skive

● Keramisk plade / keramisk blok

● Keramisk kugle

● Keramisk stempel

● Keramisk dyse

● Keramisk digel

● Andre specialfremstillede keramiske dele