Lodret wafer båd

Semicorex Vertical Wafer Boat er en specielt designet bærer til flere wafers, der maksimerer pladseffektiviteten i behandlingskamrene. Disse lodrette wafer-både er typisk rektangulære eller cylindriske i form, og hver båd har præcisionsbearbejdede slidser eller lommer, der er anbragt med mellemrum for sikkert at holde individuelle wafers i opretstående position. Den vertikale wafer-båd er konstrueret af siliciumcarbid (SiC), som giver fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer, ætsende kemikalier og mekanisk belastning, hvilket gør dem ideelle til at beskytte wafers mod potentielle skader.

Under halvlederfremstilling gennemgår wafere adskillige indviklede processer, herunder diffusion, RTP og termiske felter. Den vertikale wafer-båd spiller en afgørende rolle i at lette disse processer ved at tjene som en bærer for wafers, hvilket muliggør sømløs overførsel mellem forskellige udstyr og stadier. Dens lodrette orientering minimerer fodaftrykket i behandlingskamrene, optimerer gennemløbet og muliggør effektiv håndtering af store partier af wafers.

Semicorex Vertical Wafer Boat er en hjørnesten i halvlederbehandling, der giver en robust og pålidelig løsning til sikker håndtering og transport af wafers gennem forskellige stadier af fremstillingen. Dets avancerede design, kombineret med SiC's exceptionelle egenskaber, understreger dens centrale rolle i produktionen af ​​banebrydende halvlederenheder.