> Produkter > Keramisk > Siliciumcarbid (SiC) > Wafer Boat for Semiconductor Process

Produkter

Nye produkter

Wafer Boat for Semiconductor Process

Semicorex leverer waferbåde, piedestaler og brugerdefinerede waferholdere til både lodrette/søjle og horisontale konfigurationer. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores Wafer Boat for Semiconductor Process har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex SiC Wafer Boat for Semiconductor Process, den ultimative løsning til waferhåndtering og beskyttelse i halvlederfremstilling. Vores waferbåd til halvlederprocesser er lavet af siliciumcarbid af høj kvalitet, som har god modstandsdygtighed over for korrosion og fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og termisk chok. Avanceret keramik leverer fremragende termisk modstand og plasmaholdbarhed, mens den afbøder partikler og forurenende stoffer til højkapacitets waferbærere.

Parametre for Wafer Boat for Semiconductor Process

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Funktioner af Wafer Boat for Semiconductor Process

Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materialet er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.