Wafer Boats

Semicorex Wafer-både fremstillet af siliciumcarbid (SIC) med høj renhed er væsentlige komponenter til fremstilling af halvledere. De halvlederprocesser, hvor de bruges, inkluderer typisk højtemperatur og ætsende miljøer såsom diffusion, oxidation og LPCVD-processer. Anvendelsen af SIC Wafer -både er konstrueret til at maksimere termisk stabilitet og kemisk resistens, hvilket muliggør optimal støtte, justering og transport af siliciumskiver under behandling for optimal udbytte og enhedsydelse.

Siliciumcarbid er veldokumenteret som en fremragende termisk ledende keramik, der udviser høj mekanisk styrke og overlegen termisk chokresistens, oxidationsresistens og aggressiv kemisk resistens med kemikalier såsom HF og HCI. Egenskaberne ved SIC gør det især attraktivt som et materiale til waferbåde til næste generations halvlederfremstillingsprocesser og i miljøer med høj temperatur. Sic Wafer -både kan opretholde strukturel integritet og dimensionel stabilitet ved processtemperaturer på> 1500 ° C, hvilket minimerer risikoen for fordrejning eller kontaminering af skivere i kritiske termiske behandlinger.

Hver sicWafer Boater fremstillet af SIC med høj renhed ved hjælp af avanceret keramisk formning og sintringsprocesser og kan skræddersys til et omfattende udvalg af waferdiametre (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) samt stabling af konfigurationer, hvad enten det er lodret eller vandret. Vores Sic Wafer -både har glatte overflader og fremragende fladhed, der minimerer partikelgenerering og er ideelle til automatiserede waferhåndteringssystemer.

Forureningskontrol og udbytte er to af de mest kritiske problemer i moderne fabs. Sic Wafer Carriers 'renlighed og pålidelighed påvirker produktkvaliteten og konsistensprocessen.  Sic Wafer -både har meget bedre levetid til brug, har færre vedligeholdelseskrav og lavere TCO end kvarts eller aluminiumoxidbaserede alternativer. Bedre levetid betyder også færre problemer med mikropartikel-kaste, derfor igen, hvilket påvirker renheden af skivens overflade og påvirker ren rumets renlighed.

Semicorex er fokuseret på at designe og fremstille sic wafer -både, der bruger de højest mulige renhedsråmaterialer kombineret med atmosfære med lav forurening.  Vi gør alt for at opretholde lave urenhedsniveauer, opretholde porøsitet ved lav værdi og ensartet mikrostruktur, så holdets arbejde regelmæssigt kan nyde ensartede termiske egenskaber, præcis skivafstand og uovertruffen kemisk nedbrydningsmodstand.

Semicorex SicWafer Boatser et nødvendigt element i høj temperaturbehandling af halvledere. Silicium-carbid-bådene med høj renhed har enestående materialegenskaber, konstrueret ekspertise og mikrokontamineringsfrit temperament, gør dem til det høje niveau valg til fremstilling af højtydende Wafer. Semicorex giver pålideligheden og innovative høje ydelser til at understøtte dine mest missionskritiske halvlederprocesser.