Wafer Carrier Bakke

Semicorex leverer keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-halvlederværktøjer og waferhåndteringskomponenter med fokus på siliciumcarbidlag i halvlederindustrier. Vi har været producent og leverandør af Wafer Carrier Tray i mange år. Vores Wafer Carrier Tray har en god prisfordel og dækker det meste af det europæiske og amerikanske marked. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Ikke kun til tyndfilmaflejringsfaser såsom epitaksi eller MOCVD eller waferhåndteringsbehandling, leverer Semicorex ultraren keramisk bærer, der bruges til at understøtte wafers. Kernen i processen, Wafer Carrier Tray til MOCVD, udsættes først for aflejringsmiljøet, så den har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den SiC-belagte bærer har også en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores Wafer Carrier Tray.

Parametre for Wafer Carrier Tray

Tekniske egenskaber
Indeks	Enhed	Værdi
Materiale navn		Reaktionssintret siliciumcarbid	Trykløs sintret siliciumcarbid	Omkrystalliseret siliciumcarbid
Sammensætning		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdensitet	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Bøjestyrke	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Kompressionsstyrke	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hårdhed	Knap	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Termisk ledningsevne	W/m.k	95	120	23
Termisk udvidelseskoefficient	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Specifik varme	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Max temperatur i luft	℃	1200	1500	1600
Elastikmodul	Gpa	360	410	240

Forskellen mellem SSiC og RBSiC:

1. Sintringsprocessen er anderledes. RBSiC skal infiltrere fri Si i siliciumcarbid ved lav temperatur, SSiC dannes ved naturligt svind ved 2100 grader.

2. SSiC har glattere overflade, højere tæthed og højere styrke, for nogle tætninger med strengere overfladekrav vil SSiC være bedre.

3. Forskellig brugt tid under forskellig PH og temperatur, SSiC er længere end RBSiC

Funktioner af Wafer Carrier Tray

- CVD siliciumcarbid belægninger for at forbedre levetiden.
- Termisk isolering lavet af højtydende renset stift kulstof.
- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
- Grafit- og SiC-belægning med høj renhed for pinhole-modstand og længere levetid

Tilgængelige former af siliciumcarbid keramik:

● Keramisk stang / keramisk stift / keramisk stempel

● Keramisk rør / keramisk bøsning / keramisk muffe

● Keramisk ring / keramisk skive / keramisk afstandsstykke

● Keramisk skive

● Keramisk plade / keramisk blok

● Keramisk kugle

● Keramisk stempel

● Keramisk dyse

● Keramisk digel

● Andre specialfremstillede keramiske dele