Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Alumina Plade Flange repræsenterer et højdepunkt af alsidighed og ydeevne inden for keramisk konstruktion. Fremstillet af aluminiumoxidkeramik, et materiale kendt for sine exceptionelle egenskaber, repræsenterer denne flange en perfekt sammensmeltning af robusthed, høj temperaturbestandighed og elektrisk ledningsevne. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Diffusion Furnace Tube er en afgørende komponent inden for halvlederfremstillingsudstyr, specielt designet til at lette præcise og kontrollerede reaktioner, der er afgørende for halvlederfremstillingsprocesser. Som den primære beholder i reaktionszonen i en halvlederovn spiller diffusionsovnsrøret en afgørende rolle i at sikre integriteten og kvaliteten af de producerede halvlederanordninger. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC (Silicon Carbide) Process Tube Liners er afgørende komponenter i produktionen af halvledere i miljøer, der kræver høje temperaturer og høje niveauer af renhed. Disse SiC Process Tube Liners er specielt designet til at modstå ekstreme termiske forhold og opretholde høje niveauer af renhed for at sikre, at halvlederfremstillingsprocessen ikke kompromitteres. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) ovne under processer som diffusion og RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle skal bære halvlederwafere sikkert i procesrøret under forskellige højtemperaturprocesser såsom diffusion og RTP. Det tjener det formål at understøtte og transportere wafers inden for procesrøret i disse ovne. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Vertical Wafer Boat repræsenterer en afgørende komponent inden for halvlederbehandling, designet til sikkert at rumme og transportere sarte siliciumwafers gennem forskellige stadier af fremstillingen. Fremstillet af siliciumcarbid (SiC), et robust og termisk stabilt materiale kendt for dets exceptionelle egenskaber i barske miljøer, sikrer disse både integriteten og sikkerheden af wafere under forarbejdning. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Wafer Transfer Hand står som en hjørnesten i automatisering inden for halvlederfremstillingsprocessen, og fungerer som et sofistikeret robotværktøj til præcis og effektiv håndtering af halvlederwafers. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel