Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbearbejdning, den er omhyggeligt designet for at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex er din partner for avancerede grafitkomponenter og -samlinger for at understøtte højere gennemløb og bedre udbytte i dit halvlederbehandlingsudstyr. Vores materialeeksperter er klar til at arbejde sammen med dig om at udvikle den optimale, rigtige løsning til dine krav til håndtering af wafer, opvarmning og forarbejdning. Vores Ceramic End Effector har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSiliciumcarbidkammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.
Læs mereSend forespørgselMOCVD vakuumkammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex siliciumcarbidbelagt MOCVD vakuumkammerlåg konstrueret specifikt modstår disse udfordrende miljøer. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex er en førende uafhængigt ejet producent af siliciumcarbidbelagt grafit, præcisionsbearbejdet højrent grafit med fokus på siliciumcarbidbelagt grafit, siliciumcarbidkeramisk, MOCVP-områder inden for halvlederfremstilling. Vores SiC Coated Wafer Heater har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafit i Kina. Vi leverer varmeapparater, støttedigler, varmeskjolde og isoleringskomponenter til enkeltkrystaldyrkningsprocesser og -materialer. Vi fokuserer på halvlederindustrier, vores Silicon Wafer Heater har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.
Læs mereSend forespørgselSemicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores Wafer Process Heater har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.
Læs mereSend forespørgsel