Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Vacuum Chuck er en højtydende wafer-håndteringsløsning, der er udformet af porøst siliciumcarbid. Det er specifikt konstrueret til vakuumadsorption af halvlederskiver under kritiske processer såsom montering (voksning), udtynding, de-waxing, rengøring, terning og hurtig termisk annealing (RTA). Vælg Semicorex for uovertruffen materiel renhed, dimensionel præcision og pålidelig ydeevne i krævende halvledermiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex aluminiumoxid robotarm er en højtydende keramisk komponent designet til præcis waferhåndtering i halvlederproduktionen. Dens overlegne styrke, isolering og termisk stabilitet gør det ideelt til at kræve rent rumautomatiseringsmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex aluminiumoxid keramisk slutningseffektor er en præcisions-konstrueret komponent specifikt designet til pålidelig og forureningsfri wafer-håndtering i halvlederfremstilling og relaterede applikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous Sic Chuck er et højtydende keramisk vakuumchuck designet til sikker og ensartet skivadorption i halvlederforarbejdning. Dens konstruerede mikro-porøse struktur sikrer fremragende vakuumfordeling, hvilket gør den ideel til præcisionsapplikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Vacuum Chucks er højtydende keramiske armaturer designet til sikker wafer-adsorption i halvlederfremstilling. Med overlegne termiske, mekaniske og kemiske egenskaber sikrer det stabilitet og præcision i krævende procesmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex PBN-kompositvarmere er avancerede opvarmningselementer, der er konstrueret til høj-temperatur, ultra-rene vakuummiljøer, der er vidt brugt i halvleder, optoelektronik og materielle forskningsindustrier. Vælg Semicorex til industrieledende ekspertise, tilpasning af små batch og kvalitet i verdensklasse i PBN-opvarmningsløsninger.*
Læs mereSend forespørgsel