Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex Silicon Carbide Boat er en højtydende komponent designet til brug i halvlederdiffusionsprocesser, der tilbyder enestående termisk stabilitet, slidstyrke og kemisk holdbarhed. Vælg Semicorex på grund af dets avancerede produktionskapacitet, der leverer pålidelige produkter af høj kvalitet, der sikrer optimal ydeevne i krævende halvleder- og industrielle applikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex prioriterer kvalitet og ydeevne og sikrer, at hver SiC-pakning opfylder strenge industristandarder. Vores banebrydende fremstillingsprocesser garanterer, at vores produkter leverer ensartede og pålidelige resultater, hvilket positionerer Semicorex som førende inden for avanceret keramik.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Grinding Media er fremstillet af siliciumcarbidkeramik, et materiale, der er berømt for sin enestående hårdhed og holdbarhed. Konstrueret til at opfylde de strenge krav fra forskellige industrielle applikationer, SiC Grinding Media tilbyder uovertruffen effektivitet og lang levetid.
Læs mereSend forespørgselSemicorex 6 Inch SiC Boat er en højtydende waferbærer lavet af siliciumcarbid, designet til brug i højtemperaturhalvlederprocesser såsom oxidation og diffusion. Semicorex leverer produkter af overlegen kvalitet med enestående termisk stabilitet, fremragende kemikalieresistens og en forpligtelse til pålidelig, langvarig ydeevne i krævende halvlederapplikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Vertical Silicon Boat er en kritisk komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, Semicorex leverer tilpassede vertikale siliciumbåde med uovertruffen kvalitet og præcision, skræddersyet til at opfylde de strenge krav fra halvlederindustrien.*
Læs mereSend forespørgselSi3N4-tætningsringen fra Semicorex repræsenterer et betydeligt fremskridt inden for keramisk konstruktion, fremstillet af Si3N4, et exceptionelt uorganisk materiale. Denne keramik er kendt for sin unikke egenskab ved ikke at krympe under sintringsprocessen, hvilket sikrer dimensionsstabilitet og konsistens.
Læs mereSend forespørgsel