Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex carbon keramisk bremseskive er en bremseskive lavet af en ny type carbon silicium keramisk kompositmateriale. Valg af Semicorex sikrer adgang til internationalt anerkendt kvalitet, avanceret teknologi og skalerbare fremstillingsfunktioner.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Porous SIC-plade er et avanceret keramisk materiale designet til applikationer med høj præcision, der tilbyder overlegen mekanisk styrke, termisk stabilitet og kemisk resistens. *
Læs mereSend forespørgselSemicorex Silicon Carbide Flat Membrane er en højtydende keramisk filtreringsopløsning, der er kendt for sin ekstraordinære kemiske modstand, termiske stabilitet og overlegen filtreringseffektivitet. Valg af Semicorex betyder at vælge branche-førende teknologi, der er støttet af avancerede fremstillingsprocesser og en forpligtelse til at levere pålidelige, omkostningseffektive løsninger, der imødekommer de hårdeste filtreringsudfordringer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbidkompositmembran er en avanceret filtreringsopløsning, der kombinerer de overlegne egenskaber ved siliciumcarbid, aluminiumoxid og calciumoxid for at levere filtrering med højtydende på tværs af en lang række industrier. Semicorex er det pålidelige valg til denne avancerede teknologi, der tilbyder uovertruffen kvalitet, pålidelighed og skræddersyede løsninger, der sikrer optimal effektivitet og langsigtet ydeevne til dine filtreringsbehov.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbidmembran er avancerede filtreringsløsninger, der tilbyder overlegen kemiske, termiske og mekaniske modstand, ideel til krævende industrielle anvendelser. Vælg Semicorex til vores holdbare membraner af høj kvalitet, der leverer langvarig ydeevne, effektivitet og pålidelighed, hvilket sikrer optimale resultater i enhver filtreringsproces.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Membrane er en højtydende keramisk filtreringsopløsning lavet af siliciumcarbid med høj renhed, designet til udfordrende industrielle filtreringsapplikationer. Vælg Semicorex for pålidelige, holdbare og effektive SIC-membraner, der leverer enestående ydelse og langsigtet værdi i selv de mest krævende miljøer.*
Læs mereSend forespørgsel