Siliciumcarbidkeramik (SiC) er et avanceret keramisk materiale indeholdende silicium og kulstof. Korn af siliciumcarbid kan bindes sammen ved sintring for at danne meget hård keramik. Semicorex leverer tilpasset siliciumcarbid keramik efter dine behov.
Ansøgninger
Med siliciumcarbid keramik forbliver materialeegenskaberne konstante op til temperaturer over 1.400°C. Det høje Youngs modul > 400 GPa sikrer fremragende dimensionsstabilitet.
En typisk anvendelse for siliciumcarbidkomponenter er dynamisk tætningsteknologi ved hjælp af friktionslejer og mekaniske tætninger, for eksempel i pumper og drivsystemer.
Med de avancerede egenskaber er siliciumcarbidkeramik også ideel til brug i halvlederindustrien.
Waferbåde →
Semicorex Wafer Boat er lavet af sintret siliciumcarbid keramik, som har god modstandsdygtighed over for korrosion og fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og termisk stød. Avanceret keramik leverer fremragende termisk modstand og plasmaholdbarhed, mens den afbøder partikler og forurenende stoffer til højkapacitets waferbærere.
Reaktionssintret siliciumcarbid
Sammenlignet med andre sintringsprocesser er størrelsesændringen af reaktionssintring under fortætningsprocessen lille, og produkter med præcise dimensioner kan fremstilles. Tilstedeværelsen af en stor mængde SiC i det sintrede legeme gør imidlertid højtemperaturydelsen af reaktionssintret SiC-keramik dårligere.
Trykløs sintret siliciumcarbid
Trykløs sintret siliciumcarbid (SSiC) er en særlig let og samtidig hård højtydende keramik. SSiC er kendetegnet ved høj styrke, som forbliver næsten konstant selv ved ekstreme temperaturer.
Rekrystal siliciumcarbid
Omkrystalliseret siliciumcarbid (RSiC) er næste generations materialer dannet ved at blande højrent siliciumcarbid groft pulver og højaktivt siliciumcarbid fint pulver, og efter fugning, vakuumsintring ved 2450 ° C for at omkrystallisere.
Semicorex leverer keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-semifabrikationsværktøjer og komponenter til håndtering af wafers. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores keramiske akselbøsning har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex leverer keramik i halvlederkvalitet til dine OEM-semifabrikationsværktøjer og komponenter til håndtering af wafers. Vi har været producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm i mange år. Vores SiC Axle Sleeve har en god prisfordel og dækker de fleste af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex avancerede siliciumcarbidbelagte komponenter med høj renhed er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i waferhåndteringsprocessen. Vores Semiconductor Wafer Chuck har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex ultrarene keramiske komponenter, der er perfekte til næste generations litografi og wafer-håndteringsapplikationer, sikrer minimal kontaminering og yder en usædvanlig lang levetid. Vores Wafer Vacuum Chuck har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex holdbare fokusringe til halvlederbehandling er designet til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsningskamre, der bruges til halvlederbehandling. Vores fokusringe er lavet af højrent grafit belagt med en tæt, slidbestandig siliciumcarbid (SiC) belægning. SiC-belægningen har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces for at forbedre levetiden for vores fokusringe.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Plasma-behandlingsfokusring er specielt designet til at imødekomme de høje krav til plasmaætsningsbehandling i halvlederindustrien. Vores avancerede siliciumcarbidbelagte komponenter med høj renhed er bygget til at modstå ekstreme miljøer og er velegnede til brug i forskellige applikationer, herunder siliciumcarbidlag og epitaksiske halvledere.
Læs mereSend forespørgsel