Carbid-coated reaktor tønde Susceptor

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor er et førsteklasses grafitprodukt belagt med højrent SiC, designet specielt til LPE-processer. Med fremragende varme- og korrosionsbestandighed er dette produkt perfekt til brug i halvlederfremstillingsapplikationer.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Hvis du leder efter en højtydende grafitsusceptor til epitaksial lagdannelse på halvlederwafers, er Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor et fremragende valg. Dens siliciumcarbidbelægning giver overlegen varmefordeling og termisk ledningsevne, hvilket sikrer enestående ydeevne i selv de mest krævende højtemperaturmiljøer.

Hos Semicorex fokuserer vi på at levere højkvalitets, omkostningseffektiv hårdmetalbelagt reaktorbeholdersusceptor, vi prioriterer kundetilfredshed og leverer omkostningseffektive løsninger. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner, der leverer produkter af høj kvalitet og enestående kundeservice.

Parametre for carbid-coated reaktor tønde susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af hårdmetal-coated reaktor tønde Susceptor

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.

- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.

- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.

- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.